版權說明:本文檔由用戶提供并上傳,收益歸屬內容提供方,若內容存在侵權,請進行舉報或認領
文檔簡介
1、由于具有優(yōu)越的特性,GaN材料以及基于GaN材料的各種器件在近十年中得到了系統(tǒng)和深入的研究。但是現在仍然面臨著許多的問題,特別是GaN材料的p型摻雜技術始終沒有很好的解決。本論文正是在這一背景下進行研究的。 本論文在分析了現有GaN材料p型摻雜技術所面臨的困難與不足后,提出了利用超晶格結構提高GaN材料p型摻雜效果的方案。隨后,系統(tǒng)的研究了超晶格結構提高p型摻雜效果的物理機制、分析了超晶格周期長度和Al組份對摻雜效果的影響、優(yōu)化
2、了AlGaN/GaN超晶格摻Mg的各種工藝參數?;谶@些研究本文取得了以下成果和結論: 1.AlGaN/GaN超晶格的空穴微帶效應是超晶格結構提高p型摻雜效果的物理機理。超晶格形成的空穴微帶能夠降低AlGaN材料中受主元素的激活能,這使得受主的離化率得到提高。 2.AlGaN/GaN超晶格空穴微帶的形成主要是由極化效應和界面應力引起的??紤]極化效應和界面應力時AlGaN/GaN超晶格的平均空穴濃度比不考慮這些效應時高約一
3、個量級。 3.通過實驗驗證了對極化效應和界面應力作用的理論分析,優(yōu)化了超晶格周期長度、Al組份和反應室壓力等參數。認為高的反應室壓力、Al組份以及約二十納米的超晶格周期長度有利于摻雜效率的提高。 4.獲得了電阻率為0.31Ω·cm、空穴濃度為4.36×10<'18>/cm<'3>的AlGaN/GaN樣品。這一結果優(yōu)于目前GaN體材料p型摻雜的結果,證明了超晶格結構在p型摻雜中的有效作用,且對于LED和HBT等器件具有一定
溫馨提示
- 1. 本站所有資源如無特殊說明,都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請下載最新的WinRAR軟件解壓。
- 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等,如果需要附件,請聯(lián)系上傳者。文件的所有權益歸上傳用戶所有。
- 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙,網頁內容里面會有圖紙預覽,若沒有圖紙預覽就沒有圖紙。
- 4. 未經權益所有人同意不得將文件中的內容挪作商業(yè)或盈利用途。
- 5. 眾賞文庫僅提供信息存儲空間,僅對用戶上傳內容的表現方式做保護處理,對用戶上傳分享的文檔內容本身不做任何修改或編輯,并不能對任何下載內容負責。
- 6. 下載文件中如有侵權或不適當內容,請與我們聯(lián)系,我們立即糾正。
- 7. 本站不保證下載資源的準確性、安全性和完整性, 同時也不承擔用戶因使用這些下載資源對自己和他人造成任何形式的傷害或損失。
最新文檔
- P型GaN的Delta摻雜及外延粗化研究.pdf
- MOCVD方法硅基GaN的生長及其p型摻雜研究.pdf
- AlGaN-GaN超晶格p型摻雜及輸運特性研究.pdf
- P型GaN基材料電學性能的研究.pdf
- P型硅化物熱電材料的制備及摻雜.pdf
- GaN基LED外延生長及p型GaN激活研究.pdf
- GaN納米材料的制備、摻雜及發(fā)光性能研究.pdf
- GaN納米線的P型摻雜的第一性原理研究.pdf
- GaN及其摻雜材料的合成與性能研究.pdf
- 銻摻雜p型ZnO納米陣列-n型GaN薄膜異質結暖白光LED研究.pdf
- 氮摻雜p型ZnO薄膜材料的制備及光電性質研究.pdf
- P型GaN歐姆接觸特性研究.pdf
- ZnOSe合金薄膜的制備及p型摻雜研究.pdf
- N摻雜p型ZnO材料的制備及其光電性能研究.pdf
- SiC材料P型摻雜的第一性原理研究.pdf
- Bi2Te3摻雜p型溫差電材料的電化學制備、表征及沉積機理研究.pdf
- P型GaN上AZO膜的制備及歐姆接觸特性.pdf
- 雙溝道摻雜及多溝道AlGaN-GaN異質結材料特性研究.pdf
- 基于一維p型摻雜ZnO納米材料的光電器件研究.pdf
- Na相關摻雜及N摻雜p型ZnO薄膜的制備和性能研究.pdf
評論
0/150
提交評論