2023年全國(guó)碩士研究生考試考研英語一試題真題（含答案詳解+作文范文）_第1頁(yè)
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1、本文研究了一種基于MEMS技術(shù)的具有雙橋結(jié)構(gòu)的硅氣體流速傳感器。從理論上闡述了微懸橋結(jié)構(gòu)氣體流速傳感器的工作原理，設(shè)計(jì)了微懸橋的結(jié)構(gòu)、工藝版圖以及其電路系統(tǒng)。根據(jù)實(shí)際工藝條件及工藝設(shè)備，制定了切實(shí)可行的制作工藝方案，通過反復(fù)實(shí)驗(yàn)研制出傳感器，利用Protel制作了電路板并進(jìn)行了實(shí)際電路的調(diào)試，并到風(fēng)洞對(duì)傳感器進(jìn)行標(biāo)定。實(shí)驗(yàn)中采用溫度電壓融合技術(shù)使得重復(fù)性誤差將進(jìn)一步減小，實(shí)驗(yàn)得到的結(jié)果為：傳感器的線性度為0.0023％F．S，中低風(fēng)速時(shí)

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