基于柔性襯底的微型換能器技術(shù).pdf

1、柔性MEMS器件具有非常廣泛的應(yīng)用前景。本文以柔性襯底基微型換能器為研究對(duì)象，對(duì)MEMS柔性襯底技術(shù)展開研究，設(shè)計(jì)研發(fā)了氣泡型微致動(dòng)器和柔性觸覺傳感器。 論文闡述了聚酰亞胺基、PDMS基、金屬基三種不同柔性襯底基微型換能器的工藝實(shí)現(xiàn)方法。 針對(duì)金屬基柔性微換能器實(shí)現(xiàn)方法，研發(fā)了一種用于主動(dòng)流動(dòng)控制的氣泡型微致動(dòng)器。設(shè)計(jì)了微致動(dòng)器的結(jié)構(gòu)，并對(duì)其變形行為進(jìn)行仿真分析。采用光刻、刻蝕、旋涂等工藝制作了氣泡型微致動(dòng)器。通過對(duì)氣泡

2、樣件的壓力載荷．變形行為測試，表明致動(dòng)器具有較好的線性度和較大承載能力。結(jié)合特定翼型的風(fēng)洞實(shí)驗(yàn)，驗(yàn)證微致動(dòng)器作動(dòng)可以影響翼型表面的壓強(qiáng)分布，從而可用于增升等控制目的。 通過對(duì)聚酰亞胺基和PDMS基微型換能器的研究，設(shè)計(jì)了一種柔性開關(guān)式微型觸覺傳感器。對(duì)觸覺傳感器的結(jié)構(gòu)進(jìn)行了設(shè)計(jì)，并通過仿真分析研究不同結(jié)構(gòu)尺寸對(duì)其變形行為的影響，得到了優(yōu)化的結(jié)構(gòu)尺寸。按照設(shè)計(jì)出的傳感器結(jié)構(gòu)，提出了兩種襯底材料的觸覺傳感器加工工藝，并采用覆銅聚酰亞