硅微通道氧化特性的進一步研究.pdf

1、MEMS技術的發(fā)展推動了更高效,更小型化微通道的發(fā)展。由于微通道有著優(yōu)良的性能,特殊的結構,因而有廣闊的應用前景,目前經(jīng)過科研人員的努力,微通道已經(jīng)可以應用在微通道板,微型化工設備,微型全分析系統(tǒng)(miniaturizedtotal analysis systems,μ-TAS),微型熱傳導設備以及制備微膠囊等。目前由于硅微通道板在高增益低噪聲、改善圖像分辨率、工藝兼容性以及穩(wěn)定性方面具有傳統(tǒng)玻璃纖維微通道板無法企及的優(yōu)勢,受到了人們的

2、重視。
　　本文研究了硅微通道板氧化的各種條件和影響氧化質量的因素,采用計算機輔助軟件進行模擬和分析,提出了幾個解決氧化過程中出現(xiàn)的問題的行之有效的方法。本文第一章首先對微通道及其應用做了介紹和說明,介紹了微通道的主要制作技術,并陳述了本文所開展的主要工作。第二章介紹大深寬比硅微通道的形成原理,并研究了電化學刻蝕過程中各種參數(shù)對P型硅微通道板形態(tài)的影響。第三章則介紹了制備大深寬比硅微通道的工藝流程。第四章介紹了大深寬比硅微通道的氧