晶圓失效圖形自動(dòng)識(shí)別系統(tǒng)在ULSI良率管理中的應(yīng)用研究.pdf

1、良率直接決定了一個(gè)FAB(集成電路生產(chǎn)工廠(chǎng))的贏收,如果能夠建立一套完善的良率管理系統(tǒng),通過(guò)對(duì)集成電路制造過(guò)程中上百步驟和各式各樣的數(shù)據(jù)進(jìn)行有效的管理,進(jìn)而作可靠的分析。這套系統(tǒng)能夠代替人工的緩慢摸索和尋找良率下降的原因,使良率得以快速提升和保持提升后的穩(wěn)定,確保企業(yè)獲得最大利潤(rùn),對(duì)半導(dǎo)體制造業(yè)具有重要意義。
　　 良率管理系統(tǒng)首先要研究和解決對(duì)良率數(shù)據(jù)的管理,論文運(yùn)用先進(jìn)的數(shù)據(jù)挖掘方式對(duì)晶圓進(jìn)行圖形判別歸類(lèi)。在此基礎(chǔ)上,開(kāi)發(fā)了

2、晶圓失效圖形自動(dòng)識(shí)別系統(tǒng),該識(shí)別系統(tǒng)顛覆了傳統(tǒng)的依靠工程師人工對(duì)晶圓圖進(jìn)行逐一檢查的工作模式:1,論文工作通過(guò)量化的參數(shù)的設(shè)定,避免了主觀(guān)因素對(duì)判別結(jié)果的影響;2,建立了自動(dòng)判別功能模塊,對(duì)晶圓圖進(jìn)行實(shí)時(shí)檢驗(yàn),通過(guò)判別使工程師可以快速地從一系列紛繁復(fù)雜的數(shù)據(jù)中找到問(wèn)題根源。
　　 晶圓失效圖形自動(dòng)識(shí)別系統(tǒng)優(yōu)化了傳統(tǒng)的良率管理操作過(guò)程,大大縮短了提升良率的周期。并有效地將該系統(tǒng)應(yīng)用在半導(dǎo)體制造業(yè)中。
　　 論文工作還成功地

3、將晶圓失效圖形自動(dòng)識(shí)別系統(tǒng)應(yīng)用于集成電路制造的三種方面:自動(dòng)放貨系統(tǒng)、芯片降級(jí)處理系統(tǒng)和基于晶圓失效圖形自動(dòng)識(shí)別系統(tǒng)的后續(xù)自動(dòng)數(shù)據(jù)分析。論文繼而通過(guò)大量的應(yīng)用實(shí)例證明了晶圓失效圖形自動(dòng)識(shí)別系統(tǒng)以及三套衍生系統(tǒng)在生產(chǎn)實(shí)踐中所產(chǎn)生的實(shí)用價(jià)值。
　　 論文研究和開(kāi)發(fā)的晶圓失效圖形自動(dòng)識(shí)別系統(tǒng)優(yōu)化了良率管理過(guò)程,論文成果已經(jīng)在中芯國(guó)際半導(dǎo)體制造有限公司獲得了應(yīng)用,解決了目前良率管理系統(tǒng)中最大的瓶頸,為競(jìng)爭(zhēng)日益激烈的上海半導(dǎo)體制造業(yè)作出貢