基于Bitmap工具的SDRAM晶圓失效分析.pdf

1、在半導(dǎo)體制造業(yè)高度激烈的市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)中，如何將成品率快速提升是企業(yè)生存的關(guān)鍵。SDRAM是一種高密度的存儲(chǔ)器件，可以通過(guò)電性測(cè)試，并且運(yùn)用bitmap這一有效工具診斷出其具體的失效區(qū)域，通過(guò)進(jìn)一步的物性失效分析來(lái)找出工藝上失效的原因。 本論文開(kāi)展了對(duì)0．2um64MSDRAM產(chǎn)品良率提升的工作，研究學(xué)習(xí)了該種器件的工作原理，然后從工藝和版圖的特性入手，將可能出現(xiàn)的失效模式進(jìn)行歸類(lèi)，并通過(guò)測(cè)試實(shí)驗(yàn)方法，特別是加強(qiáng)對(duì)Bitmap的分析來(lái)

2、做進(jìn)一步的分析和判斷，最后利用物性失效手段進(jìn)行驗(yàn)證。在以往的工作中Bitmap被視為很用用的定位失效點(diǎn)的工具，在本課題的研究中發(fā)現(xiàn)，深入對(duì)Bitmap信息的解讀可以得到更多有用的信息來(lái)輔助對(duì)失效模式的診斷，從而提高判斷的正確性。這種帶有預(yù)判性的失效解析思路，可以有效的提高失效分析的準(zhǔn)確度，縮短失效分析工作的時(shí)間，從而快速提升產(chǎn)品良率，為企業(yè)帶來(lái)直接的經(jīng)濟(jì)效益。本文共分為五章，第一章對(duì)失效分析在半導(dǎo)體生產(chǎn)中的作用和地位進(jìn)行了闡述，對(duì)失效分

3、析的一般流程進(jìn)行說(shuō)明。引出對(duì)SDARAM器件的失效分析的研究；第二章，對(duì)失效分析過(guò)程中應(yīng)用到的物性失效和電性失效的實(shí)驗(yàn)方法做簡(jiǎn)單的介紹和研究；第三章，先對(duì)SDRAM器件的工作原理、版圖和進(jìn)行研究和分析，結(jié)合實(shí)際案例對(duì)不同的失效案例進(jìn)行說(shuō)明，重點(diǎn)對(duì)硬失效故障的分析進(jìn)行研究和闡述。同時(shí)深入對(duì)Bitmap在分析過(guò)程中的重要性來(lái)加以體現(xiàn)和說(shuō)明；第四章，對(duì)不同的軟失效故障的模式進(jìn)行研究和分析，結(jié)合實(shí)際案例進(jìn)行闡述和說(shuō)明；第五章，總結(jié)了SDRAM晶