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1、隨著現(xiàn)代物理學(xué)、微電子、計(jì)算機(jī)和慣性技術(shù)的發(fā)展，微硅機(jī)械陀螺儀以其獨(dú)特的優(yōu)點(diǎn)成為慣性傳感器的一個(gè)發(fā)展方向，在軍用、民用技術(shù)和汽車工業(yè)有廣泛的應(yīng)用前景。微硅機(jī)械陀螺具有體積小、結(jié)構(gòu)簡單、易于加工、價(jià)格便宜、易于集成化等優(yōu)點(diǎn)。 本課題旨在研究一種音叉振動微硅陀螺儀的靜電激勵(lì)系統(tǒng)。閉環(huán)激勵(lì)系統(tǒng)的設(shè)計(jì)是基于差分電容傳感器的工作原理。陀螺儀包含兩個(gè)多晶硅傳感結(jié)構(gòu)，每個(gè)都含有在靜電激勵(lì)下而諧振的質(zhì)量塊，在有角速度的期間，諧振的速度是產(chǎn)生哥氏
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