微硅陀螺激勵子系統(tǒng)集成電路的研究與實現.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、隨著現代物理學、微電子、計算機和慣性技術的發(fā)展，微硅機械陀螺儀以其獨特的優(yōu)點成為慣性傳感器的一個發(fā)展方向，在軍用、民用技術和汽車工業(yè)有廣泛的應用前景。微硅機械陀螺具有體積小、結構簡單、易于加工、價格便宜、易于集成化等優(yōu)點。 本課題旨在研究一種音叉振動微硅陀螺儀的靜電激勵系統(tǒng)。閉環(huán)激勵系統(tǒng)的設計是基于差分電容傳感器的工作原理。陀螺儀包含兩個多晶硅傳感結構，每個都含有在靜電激勵下而諧振的質量塊，在有角速度的期間，諧振的速度是產生哥氏

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