硅納米晶的電致發(fā)光研究.pdf

1、光電子產業(yè)是21世紀的支柱產業(yè)。利用現(xiàn)有的硅技術實現(xiàn)光電子器件集成是當前光電子產業(yè)發(fā)展的一個重要趨勢。由于其發(fā)光的穩(wěn)定性、結構的穩(wěn)固性以及所具有的受激輻射特性，在過去的幾年里已經成為制造硅光源的優(yōu)選材料。工作中所涉及的nc-Si的電致發(fā)光研究是nc-Si 實用化的重要步驟。 本論文主要包括兩部分工作：其一是鑲嵌在SiO<,2>介質中的納米晶Si(nc-Si：SiO<,2>)的電致發(fā)光(EL)鑒定；其二是nc-Si：SiO<,2>

2、的EL 增強研究。 一、通過對比室溫下的單層nc-Si：SiO<,2>和SiO<,2>的光致發(fā)光(PL)以及電致發(fā)光(EL)特性，得出結論：nc-Si：SiO<,2>的EL包括納米晶Si和缺陷兩部分的發(fā)光，并且分析了nc-Si：SiO<,2>的PL和EL的峰位不同的原因。我們還發(fā)現(xiàn)，通過鈍化nc-Si：SiO<,2>界面的方法只能增強納米晶Si的PL強度，而不能提高納米晶Si的EL強度。 二、我們在nc-Si：SiO<,