傅里葉變換輪廓術(shù)應(yīng)用問(wèn)題的研究.pdf_第1頁(yè)
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1、本文研究了傅里葉變換輪廓術(shù)FTP的相關(guān)問(wèn)題:(1)提出雙頻光柵FTP,并深入討論了為消除頻譜混疊,兩個(gè)載頻之間所必須滿(mǎn)足的頻率選擇關(guān)系以及相位展開(kāi)問(wèn)題;(2)利用FTP的分析方法去分析相移測(cè)量系統(tǒng)的誤差,為進(jìn)一步提高其測(cè)量精度提供了一種途徑。研究?jī)?nèi)容:  1.基于條紋投影的FTP測(cè)量中,測(cè)量精度同投影光柵的等效波長(zhǎng)有關(guān),通常情況下,等效波長(zhǎng)小,測(cè)量精度高,但是位相展開(kāi)較困難。本文提出采用雙頻光柵投影的傅里葉變換輪廓術(shù),實(shí)現(xiàn)從一幀條紋圖

2、中獲取同一物體不同頻率的空間調(diào)制信息,從而得到兩組截?cái)嘞辔?。先展開(kāi)低頻截?cái)嘞辔?,確定條紋級(jí)次n1,然后以低頻相位為參考,根據(jù)雙頻光柵兩個(gè)頻率之間的關(guān)系,計(jì)算高頻截?cái)嘞辔坏募?jí)次n2,得到高頻的展開(kāi)相位?! ?.對(duì)相位測(cè)量輪廓術(shù)(PMP)測(cè)量系統(tǒng)存在的誤差,用FTP分析方法進(jìn)行分析。主要對(duì)PMP系統(tǒng)獲取的標(biāo)準(zhǔn)的N步相移條紋圖進(jìn)行傅立葉變換、頻率濾波、逆傅立葉變換后得到相鄰兩幀條紋圖間的相位差,再通過(guò)曲面擬合找出每次相移與標(biāo)準(zhǔn)相移之間的較為

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