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文檔簡介
1、影響工廠成本的主要因素有哪些?答:DirectMaterial直接材料例如:蕊片IndirectMaterial間接材料例如氣體…Lab人力FixedManufacturing機器折舊維修研究費用……等ProductionSuppt其它相關(guān)單位所花費的費用在FAB內(nèi),間接物料指哪些?答:Gas氣體Chemical酸堿化學(xué)液PHOTOChemical光阻顯影液Slurry研磨液Target靶材Quartz石英材料Pad防靜電;便于HOOK
2、UP。離子發(fā)射系統(tǒng)作用答:離子發(fā)射系統(tǒng),防止靜電SMIC潔凈等級區(qū)域劃分答:MaskShopclass1如真空吸筆、光阻液涂布、吸芯片用真空源等。該系統(tǒng)提供一定的真空壓力(真空度大于80kpa)和流量,每天24小時運行什幺是MAU(MakeUpAirUnit)新風(fēng)空調(diào)機組作用答:提供潔凈室所需之新風(fēng),對新風(fēng)濕度,溫度,及潔凈度進行控制,維持潔凈室正壓和濕度要求。答:ClF3當(dāng)機臺用到何種氣體時,須安裝氣體偵測器答:PH3名詞解釋GCVM
3、BVMP答:GCGasCabi氣瓶柜VMBValveManifoldBox閥箱,適用于危險性氣體。VMPValveManifoldPanel閥件盤面,適用于惰性氣體。標(biāo)準(zhǔn)大氣環(huán)境中氧氣濃度為多少?工作環(huán)靜氧氣濃度低于多少時人體會感覺不適?答:21%19%什幺是氣體的LELH2的LEL為多少?答:LELLowExplosiveLevel氣體爆炸下限H2LEL4%.當(dāng)FAB內(nèi)氣體發(fā)生泄漏二級警報(既LeakHiHi),氣體警報燈(LAU)會
4、如何動作?FAB內(nèi)工作人員應(yīng)如何應(yīng)變?答:LAU紅、黃燈閃爍、蜂鳴器叫聽從ERC廣播命令,立刻疏散?;瘜W(xué)供應(yīng)系統(tǒng)中的化學(xué)物質(zhì)特性為何答:(1)AcidCaustic酸性腐蝕性(2)Solvent有機溶劑(3)Slurry研磨液有機溶劑柜的安用保護裝置為何答:(1)GasTemp.detect氣體溫度偵測器(2)CO2extinguisher二氧化碳滅火器中芯有那幾類研磨液(slurry)系統(tǒng)答:(1)Oxide(SiO2)(2)Tung
5、sten(W)鵭設(shè)備機臺總電源是幾伏特答:208V380V欲從事生產(chǎn)測試維護時如無法就近取得電源供給可以無限制使用延長線嗎答:不可以如何選用電器器材答:使用電器器材需采用通過認(rèn)證之正規(guī)品牌機臺開關(guān)可以任意分合嗎答:未經(jīng)確認(rèn)不可隨意分合任何機臺開關(guān)以免造成生產(chǎn)損失及人員傷害.欲從事生產(chǎn)測試維護時如無法就近取得電源供給也不能無限制使用延長線對嗎答:對假設(shè)斷路器啟斷容量為16安培導(dǎo)線線徑2.5mm2電源供應(yīng)電壓單相220伏特若使用單相5000
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