大行程精密定位平臺偏擺誤差分析及補(bǔ)償方法研究.pdf

1、大行程精密定位平臺系統(tǒng)在近代尖端工業(yè)生產(chǎn)和科學(xué)研究領(lǐng)域占有重要地位,隨著科學(xué)技術(shù)的不斷發(fā)展,對平臺定位精度的要求也越來越高。為滿足納米光刻、超精密加工和微電子工程等新興領(lǐng)域?qū)ο嚓P(guān)設(shè)備高精度定位的要求,本課題針對直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)、氣浮導(dǎo)軌支撐和導(dǎo)向的大行程精密定位平臺,從分析其偏擺誤差入手,研究偏擺誤差對定位精度的影響及相應(yīng)補(bǔ)償方法。
　　本文首先針對大行程精密定位平臺偏擺誤差的導(dǎo)致因素進(jìn)行理論分析,建立相關(guān)誤差模型?；跉飧?dǎo)軌滑塊副

2、簡化的彈簧質(zhì)量阻尼系統(tǒng),建立精密定位平臺兩自由度的偏擺振動(dòng)模型,計(jì)算系統(tǒng)的固有頻率,并對偏擺誤差幅值進(jìn)行研究,根據(jù)以上結(jié)果提出偏擺誤差檢測系統(tǒng)和微動(dòng)誤差補(bǔ)償系統(tǒng)的指標(biāo)要求。分析大行程精密定位平臺偏擺誤差的特點(diǎn),設(shè)計(jì)一種結(jié)合平尺和微位移傳感器的高頻響、非接觸式的偏擺誤差檢測系統(tǒng),建立檢測算法模型,為誤差的實(shí)時(shí)補(bǔ)償提供理論基礎(chǔ)。設(shè)計(jì)一種基于壓電陶瓷驅(qū)動(dòng),橢圓形放大機(jī)構(gòu)和柔性鉸鏈傳動(dòng)的微動(dòng)誤差補(bǔ)償平臺。利用理論力學(xué)原理,結(jié)合有限元分析方法對微