掃描電子顯微鏡的操作步驟和注意事項 心得

1、掃描電子顯微鏡的操作步驟與注意事項一、樣品制備將分散好的樣品滴于銅片上，干燥后將載有樣品的銅片粘在樣品座上的導(dǎo)電膠帶上（對于大顆粒樣品可直接將樣品粘在導(dǎo)電膠帶上）。對于導(dǎo)電性不好的樣品必須蒸鍍導(dǎo)電層，通常為蒸金：將樣品座置于蒸金室中，合上蓋子，打開通氣閥門，對蒸金室進行抽真空。選擇好適當(dāng)?shù)恼艚饡r間，達到真空度定好時間后加電壓并開始計時，保持電流值，時間到后關(guān)閉電壓，關(guān)閉儀器。取出樣品。（注意：打開蒸金室前必須先關(guān)閉通氣閥門，以防液（注意

2、：打開蒸金室前必須先關(guān)閉通氣閥門，以防液體倒流。體倒流。）二、掃描電鏡的操作1.安裝樣品1)按“Vent”直至燈閃，對樣品交換室放氮氣，直至燈亮；2)松開樣品交換室鎖扣，打開樣品交換室，取下原有的樣品臺，將已固定好樣品的樣品臺，放到送樣桿末端的卡抓內(nèi)（注意：樣品高度不能超過樣品臺（注意：樣品高度不能超過樣品臺高度，并且樣品臺下面的螺絲不能超過樣品臺下部凹槽的平面）高度，并且樣品臺下面的螺絲不能超過樣品臺下部凹槽的平面）；3)關(guān)閉樣品交換

3、室門，扣好鎖扣；4)按“EVAC”按鈕，開始抽真空，“EVAC”閃爍，待真空達到一定程度，“EVAC”點亮；5)將送樣桿放下至水平，向前輕推至送樣桿完全進入樣品室，無法再推動為止，確認“Hold”燈點亮，將送樣桿向后輕輕拉回直至末端臺階露出導(dǎo)板外將送樣桿豎起卡好。（注意：推拉送樣桿時用力必須沿送樣桿軸線方向，以防損（注意：推拉送樣桿時用力必須沿送樣桿軸線方向，以防損壞送樣桿）壞送樣桿）2.試樣的觀察（注意：軟件控制面板上的背散射按鈕千萬

4、不能點，以防損（注意：軟件控制面板上的背散射按鈕千萬不能點，以防損壞儀器）壞儀器）1)觀察樣品室的真空“PVG”值，當(dāng)真空達到9.0105Pa時，打開“Maintenance”，加高壓5kv，軟件上掃描的發(fā)射電流為10μA，工作距離“WD”為8mm，掃描模式為“Lei”（注意：為減少干擾，有磁性樣品時，工作（注意：為減少干擾，有磁性樣品時，工作距離一般為距離一般為15mm左右）左右）；2)操作鍵盤上按“LowMag”、“QuickVie