電極絲換向條紋的減弱和消除

1、電極絲換向條紋的減弱和消除高速走絲換向條紋的產(chǎn)生主要原因是切縫里冷卻狀態(tài)不均勻所致，換句話說就是凡是可以改善切縫里冷卻狀態(tài)的措施都可以減少條紋的產(chǎn)生，如果僅僅鉬絲短而頻繁換向來掩蓋條紋就會大大降低生產(chǎn)率，是一種視覺的感受，實際并沒有解決問題。解決問題的辦法有：增加冷卻液的濃度來提高洗滌性；增加脈沖間隔來使液體盡量多的被帶入；適當增加脈沖寬度，主要是建設波形的奇變，調(diào)整好跟蹤等，但最主要的辦法是選擇好工作液，我試驗過多種工作液，凡是切割面

2、呈現(xiàn)油性的液體說明表面得到較好的冷卻，而其中以南光－1混DX1和佳潤系列產(chǎn)品最為明顯，此外DX4也還可以，但表面有發(fā)黃的現(xiàn)象，大家可以使用一下。當然最好的情況是在切割Cr12料時，幾乎沒有換向紋。碳化硅微粉是最主要的用于多線切割機上的磨料之一，適合于切割比較硬而且脆的材料。線切割是由導輪帶動細鋼線高速運轉，由鋼線帶動砂漿形成研磨的切割方式。在線切割機的切割過程中，懸浮液夾裹著碳化硅磨料噴落在細鋼線組成的線網(wǎng)上，依賴于細鋼線的高速運動，把

3、研磨液運送到切割區(qū)，對緊壓在線網(wǎng)上的工件進行研磨式切割，隨著碳化硅磨料對工件的一次次刻劃，逐漸把多余的材料帶走，是一種類似于研磨的切削方法，這種機制也被稱為：自由研磨切割加工。切削的主要因素由懸浮液以及碳化硅組成的砂漿中碳化硅的切割能力、鋼線的張力、鋼線運行速度和工件進給速度是影響刻劃的主要因素。鋼線的高速運動促使懸浮液攜帶著帶有棱角的碳化硅顆粒以不斷滾動的方式進入切割區(qū)，從而產(chǎn)生很強切削能力，由于鋼線上加有一定的張力，使碳化硅磨料一般

4、只沿鋼線運動的方向逐漸對工件進行一次次切削，使工件沿細鋼線的縫隙被切成一個個薄片，碳化硅磨料對細鋼線側向影響很小，所以薄片表面并看不到切割痕跡。機械參數(shù)對晶片切割的影響控制晶片質量的四個重要參數(shù)：鋼線的張力、鋼線的運動速度、工件的進給速度、砂漿切割能力。（1.）鋼線的張力鋼線張力的產(chǎn)生機構是由兩條帶有力矩馬達或配重的兩條張力臂組成的，是一個由PLC控制反饋系統(tǒng)，以便適當?shù)乜刂其摼€的張力。一般鋼線的張力對切割的影響主要有一下3種形式：①如

5、果鋼線的張力過小，將會導致鋼線彎曲度增大，既線弓過大，鋼線對晶棒產(chǎn)生的壓力減少，切割效率下降。同時鋼線擺動幅度增大，工件的厚度變化加劇，線痕片增多，晶片變的參差不齊。②如果鋼線張力過大，鋼線的斷線幾率會大大增加。而且鋼線攜帶的碳化硅顆粒會難以進入鋸縫，造成硅片質量下降或切割效率降低。③張力系統(tǒng)使用一段時間以后，很容易造成零點偏移，使鋼線張力變化過大，這樣一是容易造成斷線，二是晶片質量難以保證，要及時校正。（3）盡可能采用先進先出的原則用

6、料，避免原料因存放時間過長而結團。（4）如果在運輸途中有破損包裝，最好單獨存放，避免粉塵污染（5）建議倉庫最好封閉，單獨存放。2、在使用過程中要防止二次污染：（1）投料環(huán)境盡可能為密封的，這樣不易隨空氣流動落入大的顆粒物。（2）爛包裝的碳化硅微粉盡量不使用，爛包裝后可能已經(jīng)混入雜質，影響切割效果。（3）料漿使用中應控制好使用工具，防止交叉使用污染。（4）備投料漿避免存放時間過長，如果過長會產(chǎn)生團結物，也會形成假性顆粒，可能會給線切割帶來

7、影響。一、針對各公司普遍認為的切割質量和料漿的關系問題，結合碳化硅微粉的固有特性，談一下料漿的配制：1.碳化硅微粉在包裝、運輸、存放過程中容易擠壓結團；這要求工人在配制沙漿倒料過程中要特別注意：倒料時應慢倒，控制在2.55分鐘一袋，避免猛倒造成微粉沉底結塊攪拌不起來造成與實際配比不一致，而影響切割。2.碳化硅微粉具有較強吸濕性，在空氣中極容易受潮結團，分散性降低，使料漿的粘度降低，同時在料漿中形成假性顆粒物和團積物，造成切割效率和切割質

8、量下降。因此應避免微粉裸漏在空氣中時間過長。3.倒料時要求操作工：①檢查料袋有無破損，如有破損一定要單獨存放不要再使用；②投料前先把袋口、袋子表面的浮沙打掉，避免倒料帶入雜物。4.在環(huán)境濕度較大的地區(qū)，使用碳化硅以前，最好是放在60—80度烘箱里，烘烤8小時以上，來優(yōu)化碳化硅微粉的各項指標。這樣的好處：①增強了碳化硅微粉分子活性；②與切削液有了更強的適配性；③粉體顆粒吸附性更強，使鋼線帶砂漿量增大，增強切削能力；④微粉有了更好的流動性和