高效太陽能電池的工藝流程

1、高效太陽能電池的工藝流程高效太陽能電池的工藝流程高效單晶硅太陽電池工藝流程如下：1)去除損傷層2)表面絨面化3)發(fā)射區(qū)擴散4)邊緣結(jié)刻蝕5)PECDV沉積SiN6)絲網(wǎng)印刷正背面電極漿料7)共燒形成金屬接觸8)電池片測試。下面我們著重來看一下每一個工藝，1.首先是絨面制備：硅片采用0.5~2Ω.cm，P型晶向為（100）的單晶硅片。利用氫氧化鈉溶液對單晶硅片進行各向異性腐蝕的特點來制備絨面。當(dāng)各向異性因子=10時（所謂各向異性因子就是（

2、100）面與（111）面單晶硅腐蝕速率之比），可以得到整齊均勻的金字塔形的角錐體組成的絨面。絨面具有受光面積大，反射率低的特點?？商岣邌尉Ч杼栯姵氐亩搪冯娏?，從而提高太陽電池的光電轉(zhuǎn)換效率。金字塔形角錐體的表面積S0等于四個邊長為a正三角形S之和S0=4S=4aa=a2由此可見有絨面的受光面積比光面提高了倍即1.732倍。當(dāng)一束強度為E0的光投射到圖中的A點，產(chǎn)生反射光Φ1和進入硅中的折射光Φ2。反射光Φ1可以繼續(xù)投射到另一方錐的B點

3、，產(chǎn)生二次反射光Φ3和進入半導(dǎo)體的折射光Φ4；而對光面電池就不產(chǎn)生這第二次的入射。經(jīng)計算可知還有11%的二次反射光可能進行第三次反射和折射，由此可算得絨面的反射率為9.04%。2.絨面制備：采用三氯氧磷氣體攜帶源方式，這個工藝的特點是生產(chǎn)高，有利于降低成本。新購的8吋硅片擴散爐、石英管口徑達270mm，可以擴散156156（mm）的硅片。由于石英管口徑大，恒溫區(qū)長，提高了擴散薄層電阻均勻性，有利于降低太陽電池的串聯(lián)電阻Rs，從而提高太陽

4、電池填充因子FF。3.SiN鈍化與APCVD淀積TiO2：先期的地面用高效單晶硅太陽電池一般采用鈍化發(fā)射區(qū)太陽電池(PESC)工藝。在擴散過去除磷硅玻的硅片上熱氧化生長一層10nm~25nm厚SiO2為使表面層非晶化改變了表面層硅原子價鍵失配情況使表面趨于穩(wěn)定這樣減少了發(fā)射區(qū)表面復(fù)合提高了太陽電池對藍光的響應(yīng)同時也增加了短路電流密度Jsc由于減少了發(fā)射區(qū)表面復(fù)合這樣也就減少了反向飽和電流密度從而提高了太陽電池開路電壓Voc。還有如果沒有