高效多晶硅太陽能電池制備工藝研究.pdf

1、長期以來,光伏發(fā)電技術(shù)被認(rèn)為是解決能源衰竭和環(huán)境危機(jī)的主要途徑。而多晶硅太陽能電池份額占據(jù)光伏市場的絕大部分,并呈現(xiàn)逐年上升趨勢,有極大的發(fā)展?jié)摿Α?br>　　 本文在闡明了國內(nèi)外光伏市場以及光伏技術(shù)發(fā)展趨勢的基礎(chǔ)上,對多晶硅太陽能電池的制備流程:一次清洗→擴(kuò)散→濕法刻蝕去背結(jié)→PECVD(等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積)→絲網(wǎng)印刷→燒結(jié)→測試分選做簡要介紹。并對每一道工序的主要工藝參數(shù)進(jìn)行優(yōu)化,同時包含一些新技術(shù)新材料的引進(jìn)。如優(yōu)化硅片減

2、薄厚度、擴(kuò)散方塊電阻、濕法刻蝕酸堿槽濃度和印刷速度,PECVD雙層膜工藝的引進(jìn)以及絲網(wǎng)印刷聚酯網(wǎng)版的引進(jìn)等。經(jīng)過一系列工藝參數(shù)優(yōu)化以及新工藝的引進(jìn),使得量產(chǎn)多晶硅太陽能電池轉(zhuǎn)換效率提升約0.3％。
　　 除上述工作外,本文還對多晶硅太陽能電池制備過程中的工藝參數(shù)匹配問題進(jìn)行研究。比如:一次清洗減薄厚度與后續(xù)工藝的匹配問題、淺擴(kuò)散與等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積以及絲印燒結(jié)工序的匹配問題、濕法刻蝕和雙面擴(kuò)散的工藝匹配問題、頂電極設(shè)計與淺

3、擴(kuò)散工藝匹配問題等。進(jìn)一步闡明了制備多晶硅太陽能電池過程中各工藝參數(shù)之間的相互制約與影響,在對制備工藝參數(shù)優(yōu)化或引進(jìn)新工藝時,應(yīng)結(jié)合整條產(chǎn)線工藝,對其他工藝參數(shù)也進(jìn)行匹配性修正,否則仍達(dá)不到實驗效果。經(jīng)過一系列工藝參數(shù)匹配問題的研究與實驗,使制得多晶硅太陽能電池轉(zhuǎn)換效率提升約0.3％。
　　 本文對多晶硅太陽能電池制備工藝的一系列優(yōu)化,均是在不改變電池結(jié)構(gòu)、不引進(jìn)額外材料以及新設(shè)備的基礎(chǔ)上進(jìn)行的。在不增加任何生產(chǎn)成本的情況下,使