用于汽車輪胎壓力監(jiān)測的接觸式電容壓力傳感器研究.pdf

1、汽車輪胎壓力監(jiān)測系統(tǒng)中的壓力傳感器因市場的需求一直是人們研究的熱點(diǎn)。其中電容式壓力傳感器因其結(jié)構(gòu)簡單、堅(jiān)固、靈敏度好等特點(diǎn)，在胎壓監(jiān)測系統(tǒng)中有著廣泛的應(yīng)用。
　　電容式壓力傳感器可分為接觸式電容壓力傳感器和非接觸式電容壓力傳感器。其中接觸式電容壓力傳感器與其它壓力傳感器相比有著明顯的優(yōu)點(diǎn)，如更具有近線性的輸出特性、大壓力范圍和能夠應(yīng)用在惡劣的環(huán)境中。目前國內(nèi)在接觸式電容壓力傳感器的研制上與國外相比還不到成熟。因此，本課題主要研究采

2、用MEMS加工工藝設(shè)計(jì)出一種適用于汽車輪胎胎壓監(jiān)測系統(tǒng)的接觸式電容壓力傳感器。
　　本文設(shè)計(jì)了一種底部固定極板空腔為球冠形狀的圓形腔體。其中彈性膜片采用了復(fù)合膜的結(jié)構(gòu)，極大地提高了可動(dòng)極板的耐用性與可靠性，同時(shí)提高了它的壓力-電容線性度。固定極板設(shè)計(jì)了球冠形狀的圓形空腔。在外界壓力下，改變了經(jīng)典的兩極板接觸過程，提高了傳感器的靈敏度和線性度。其次，因它是應(yīng)用在汽車輪胎胎壓監(jiān)測系統(tǒng)(100-800千帕)中的，所以設(shè)計(jì)過程中需要分析和