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文檔簡介
1、隨著微電子技術(shù)的發(fā)展,低性能和大尺寸的電子器件越來越不能滿足人們的需求。高性能化和微型化的器件應(yīng)運而生,其中高介電材料已經(jīng)受到廣泛的關(guān)注。高介電材料在諧振器、電容器、濾波器、存儲器等多個重要電子器件方面得到應(yīng)用。近十多年來,巨介電材料鈦酸銅鈣(CaCu3Ti4O12,簡稱 CCTO)受到越來越廣泛的關(guān)注,因為 CCTO不僅具有高的介電常數(shù)而且在很寬的頻率范圍內(nèi)和溫度范圍內(nèi)介電穩(wěn)定性特別好,有望成為新一代高介電陶瓷材料,但是過高的介電損耗
2、限制了其在實際中的應(yīng)用,因此 CCTO的理論和實驗研究工作仍需進行。而 CCTO的介電性質(zhì)與晶粒、晶界等非本征因素密切相關(guān),因此我們從摻雜改性及優(yōu)化實驗條件等方面入手,利用溶膠凝膠法制備純 CCTO以及鉀(K+)、鋯(Zr4+)摻雜 CCTO陶瓷材料,并對其結(jié)構(gòu)和介電性能及影響機制進行了研究。
首先,我們制備了純 CCTO陶瓷樣品,并研究了微觀結(jié)構(gòu)和介電性能。X射線衍射分析樣品表明了無第二相生成。燒結(jié)溫度大于1040oC時,C
3、CTO的介電常數(shù)(ε')在頻率小于400 kHz只有微小的變化。一些樣品的介電損耗(tanδ)在很寬的頻率范圍內(nèi)低于0.05。其中,1100oC下燒結(jié)16小時的樣品在1 kHz下測的tanδ可低至0.028,同時ε'可達到1.82×104。
然后,我們又利用溶膠凝膠法制備了Zr4+取代CCTO的Ti4+位置的陶瓷材料(CaCu3Ti4-xZrxO12, x=0,0.05,0.1,0.2),以期改變CCTO的微觀結(jié)構(gòu),進而達到改
4、善介電性質(zhì)的目的。我們發(fā)現(xiàn)摻雜濃度為0.05的CCTZO樣品(CaCu3Ti3.95Zr0.05O12),其晶粒尺寸有所增加并且在室溫和寬的頻率內(nèi)(20 Hz-400 kHz)介電常數(shù)也有較為顯著的增大(ε'>2×104)。而且頻率為200 kHz,溫度變化在20oC-180oC范圍之內(nèi),介電常數(shù)波動性小于±20%。同時,介電損耗(tanδ)在2 kHz-50 kHz范圍內(nèi)低于0.05。在測試頻率為10 kHz時, CaCu3Ti3.9
5、5Zr0.05O12(1100oC燒結(jié)16小時)的介電損耗和介電常數(shù)分別約為0.026和2.35×104。實驗結(jié)果表明 Zr4+摻雜可以改善CCTO的介電性能。
接著,我們又制備了K+取代CCTO的Ca2+位置的一系列陶瓷樣品(Ca1-xKxCu3Ti4O12-δ),燒結(jié)溫度范圍為1040oC-1100oC。然后對Ca1-xKxCu3Ti4O12-δ的微觀結(jié)構(gòu)和介電性能進行了細致研究。X射線衍射分析的結(jié)果表明Ca1-xKxCu
6、3Ti4O12-δ具有典型的立方結(jié)構(gòu),無第二相產(chǎn)生。掃描電鏡測試發(fā)現(xiàn)晶粒尺寸和介電常數(shù)隨著燒結(jié)溫度的增加而明顯增大。Ca0.99K0.01Cu3Ti4O12-δ(1060oC下燒結(jié)8小時)陶瓷樣品在室溫和1 kHz下測的介電損耗為0.039。而且在介電常數(shù)及損耗的溫譜圖中可以觀察到介電弛豫。
綜上所述,通過改善CCTO的制備方法、燒結(jié)條件及利用K+,Zr4+元素摻雜改性等方法,在一定程度上達到了改善CCTO的介電特性的目的。實
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