等離子固相外沉積大尺寸石英套管研究.pdf

1、本文對(duì)以高頻等離子體為熱源，以天然高純石英粉料為原料，用固相外沉積方法制備光纖預(yù)制棒用大尺寸石英套管的沉積技術(shù)進(jìn)行研究，并在研究的基礎(chǔ)上改進(jìn)實(shí)驗(yàn)裝置。熔制過程為:在高頻電磁場(chǎng)作用下，用氬氣引弧后引燃?jí)嚎s空氣，形成等離子火焰，合適微量元素含量和粒度分布的石英粉料通過供料系統(tǒng)自動(dòng)傳輸?shù)降入x子燃燒器附近，經(jīng)等離子火焰高溫加熱熔融，熔融后的石英粉料附著在旋轉(zhuǎn)的中心基礎(chǔ)管上，使其直徑逐漸逐層沉積增長(zhǎng)，最終制成一定規(guī)格尺寸及精度的大尺寸石英套管。設(shè)

2、計(jì)開發(fā)改進(jìn)的高頻等離子體感應(yīng)設(shè)備的陽(yáng)極范圍為10～12KV，熔制溫度1800～2100℃，沉積速率為2l～23g/min。
　　實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明，使用天然高純石英粉料利用高頻等離子體為熱源，采用固相外沉積方式可以制備出單模光纖預(yù)制棒用大尺寸石英套管。利用高頻等離子固相外沉積法熔制天然高純石英粉料制備的大尺寸石英套管，具有規(guī)格尺寸大（直徑≥150mm以上）、羥基含量低(OH-≤10ppm)、微量元素含量少(12種微量元素含量≤15ppm