薄膜電感的制備研究.pdf_第1頁(yè)
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1、我們采用掩膜法,通過磁控濺射制備樣品,在不加磁性材料的情況下,適當(dāng)選取線圈形狀參數(shù)來(lái)得到較大的電感,由于形狀參數(shù)的改變不影響樣品的適用頻率,因而也能達(dá)到增大品質(zhì)因數(shù)（Q值）的目的.此外為提高單位面積的電感量,我們還嘗試將兩個(gè)分層的線圈串聯(lián),使電感值有明顯的增大.該實(shí)驗(yàn)中制作了單個(gè)線圈的樣品1和樣品2以及串聯(lián)的樣品3和樣品4,文中報(bào)告了這些薄膜電感的電感、電阻和Q值在100MHz-10GHz范圍內(nèi)的頻譜特性.在此頻率范圍內(nèi),四個(gè)樣品的電感

2、值顯示了平穩(wěn)的頻率特性,其數(shù)值分別為130nH、155nH、185NH、28nH;電阻在6GHz以下也保持平穩(wěn),分別為31Ω、51Ω、64Ω、104Ω,在這個(gè)頻率以上,電阻由于高頻趨膚效應(yīng)而有一定的增大;Q值在1GHz-6GHz之間在20以上,并且在6GHz附近樣品1、2、3的Q值分別達(dá)到最大160、110、100,樣品4的最大值出現(xiàn)在9GHz附近,其值為120.作為薄膜電感的應(yīng)用,我們制備了薄膜變壓器,通過簡(jiǎn)單的測(cè)量可知雖然耦合系數(shù)和

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