電子散斑微變形、面形測量的相關技術研究.pdf

1、電子散斑干涉測量技術是光學測量技術的重要分支。電子散斑干涉測量技術是利用條紋分析實現(xiàn)變形的無損測量，具有非接觸、全場性、精度高的特點，近二十年來已成為測量變形場的重要方法。電子散斑干涉術通過在被測物體表面產(chǎn)生干涉條紋(載頻調(diào)制條紋)，分析位移場與物面高度之間的關系，可測量物面的形貌。該方法基于光的干涉，測量靈敏度高。電子散斑面形測量技術基于傳統(tǒng)的電子散斑干涉技術，具有電子散斑干涉技術的一系列優(yōu)點。
　　本文就電子散斑干涉結合傅里葉

2、變換法用于物體變形、面形測量進行了研究與討論，主要內(nèi)容是:
　　1.介紹了散斑的成因、產(chǎn)生方法及相關概念；回顧了散斑干涉計量的起源與發(fā)展；系統(tǒng)介紹了電子散斑干涉的原理及散斑干涉中的位相測量技術。
　　2.回顧了物體變形及面形測量的發(fā)展過程，重點介紹了電子散斑干涉載頻調(diào)制和傅里葉變換法相結合的測量物體形貌的方法。
　　3.根據(jù)電子散斑干涉載頻調(diào)制測量物體形貌的基本原理，物體表面的微小偏轉(zhuǎn)可引入包含物體高度信息的載波干涉條

3、紋。物體的偏轉(zhuǎn)使物體表面產(chǎn)生離面位移與面內(nèi)位移。將物體由于變形而產(chǎn)生的相位差與物體由于偏轉(zhuǎn)而產(chǎn)生的相位差進行對應比較，得出了離面位移引入了載波，面內(nèi)位移引入了含有物體高度信息相位的結論?；谶@種結論對電子散斑干涉載頻調(diào)制可用的幾種形貌測量方法進行了討論，比較得出利用典型電子散斑干涉系統(tǒng)測量物體形貌，載波條紋與物面對載波條紋的調(diào)制均比較明顯，容易利用傅立葉變換解調(diào)出含有物體高度信息的相位，并通過實驗得到了驗證。
　　4.參與設計了一