相位測(cè)量輪廓術(shù)的理論研究及應(yīng)用.pdf

1、該文的工作主國(guó)圍繞時(shí)域相位輪廓術(shù)和傅立葉變換輪廓術(shù)兩種最常用的輪廓術(shù)進(jìn)行的,所做的工作及成果大致可分為理論分析與實(shí)際應(yīng)用兩部分.首先深入分析了傅立葉輪廓術(shù)和時(shí)域移相位輪廓術(shù)的基本原理,系統(tǒng)全面地闡述了影響兩種輪廓術(shù)測(cè)量精度的誤差因素.進(jìn)行了如下三方面工作:(1)針對(duì)相位的求解,提出了基于微分算法原理的相位求解新方法,并將其成功應(yīng)用于傅立葉輪廓術(shù)和時(shí)域相位輪廓術(shù)中;其次,針對(duì)解包裹時(shí)遇到的物體陰影缺陷,提出了在相位求解過程中用物體灰度圖來

2、消除陰影帶來誤差的新思路,并用實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證.(2)針對(duì)傅立葉輪廓術(shù)中的特有的漏頻、混頻和柵欄效應(yīng),系統(tǒng)地闡述了誤差的消除方法,并提出采用行凱澤-貝賽爾加權(quán)可以更加簡(jiǎn)單方便的消除漏頻效應(yīng);然后分析了CCD的非線性效應(yīng)和積分抽樣效應(yīng)所造成的測(cè)量誤差,并提出了相應(yīng)的解決措施;另外,在消噪上,首次將小波理論應(yīng)用于三維輪廓測(cè)量中,計(jì)算機(jī)仿真表明小波消噪優(yōu)于頻域消噪方法.(3)分析了采用相位測(cè)量輪廓術(shù)做為測(cè)量蔭罩三維輪廓的可行性,建立了基于時(shí)域相位測(cè)量