雙頻容性耦合等離子體特性的實(shí)驗(yàn)研究.pdf

1、蘇州大學(xué)博士學(xué)位論文雙頻容性耦合等離子體特性的實(shí)驗(yàn)研究姓名：袁強(qiáng)華申請(qǐng)學(xué)位級(jí)別：博士專業(yè)：凝聚態(tài)物理指導(dǎo)教師：寧兆元辛煜20090501中文摘要雙頻容性耦含等離子體特性的實(shí)驗(yàn)研究調(diào)控難以實(shí)現(xiàn)。EEPF隨氣壓的演變表明，在較低的氣壓下以隨機(jī)加熱為主，在較高的氣壓下以碰撞加熱為主。對(duì)射頻感應(yīng)電流的測(cè)量表明，在較低的氣壓下還有等離子體串聯(lián)共振的加熱機(jī)制存在。等離子體參數(shù)隨徑向位置的分布則表明，等離子體沿徑向位置存在一定程度的不均勻性。2、利用

2、光強(qiáng)標(biāo)定的發(fā)射光譜技術(shù)，研究了27／2、60／2及60／1356MHzCHF3放電等離子體中，驅(qū)動(dòng)頻率及功率對(duì)反應(yīng)基團(tuán)的調(diào)控行為。研究顯示，射頻頻率的選擇對(duì)等離子體中反應(yīng)基團(tuán)的形成有重要影響。在雙頻CCP中，低頻頻率對(duì)反應(yīng)基團(tuán)的調(diào)控起著更加重要的作用。在我們的27／2和60／2MHz放電研究中，改變21VIHz射頻功率可以有效地調(diào)控CHF3等離子體中的活性基團(tuán)F的相對(duì)密度及F／CF2相對(duì)密度之比。而這種對(duì)反應(yīng)基團(tuán)的調(diào)控行為在60／135

3、6MHz雙頻CCP中則不能實(shí)現(xiàn)。形成這種現(xiàn)象的原因可能是因?yàn)?，不同雙頻CCP中電子能量分布函數(shù)有差異，而等離子體中的化學(xué)反應(yīng)過(guò)程對(duì)電子能量分布函數(shù)的變化非常敏感。研究顯示，在27／2MHz和60／2MHz雙頻CCP中，可能具有相似的電子能量分布函數(shù)，而60／1356MHz雙頻CCP中的電子能量分布函數(shù)則有較大差別。3、利用質(zhì)譜技術(shù)對(duì)CHF3放電等離子體的反應(yīng)基團(tuán)作了研究。質(zhì)譜研究的結(jié)果顯示，在射頻驅(qū)動(dòng)的CHF3放電等離子體中，存在著豐富