角分類機高精度轉(zhuǎn)臺控制系統(tǒng)的設(shè)計與開發(fā).pdf

1、X射線角分類機是目前晶體切割和加工設(shè)備中重要的定向?qū)Ｓ迷O(shè)備。X射線角分類機是以X射線為手段，依據(jù)布拉格方程，對晶體進行分析的光機電一體化精密儀器。為了提高晶片測量精度，需要采用Ω旋轉(zhuǎn)測量法進行晶體的檢測，由于實際研發(fā)過程中采用低精度編碼器與高速數(shù)據(jù)采集器相結(jié)合的方法，通過數(shù)據(jù)插值得到每個角度秒的X射線衍射值，這就要求轉(zhuǎn)臺運行高度平穩(wěn)。因此，設(shè)計開發(fā)角分類機高精度轉(zhuǎn)臺控制系統(tǒng)具有一定的理論和實際應(yīng)用意義。
　　本文設(shè)計與開發(fā)了一套基

2、于FPGA平臺轉(zhuǎn)臺控制系統(tǒng)，實現(xiàn)對轉(zhuǎn)臺高精度轉(zhuǎn)速控制。對于轉(zhuǎn)臺轉(zhuǎn)速控制，采用矢量控制方法，使用增量式光電編碼器反饋轉(zhuǎn)速信息，霍爾電流傳感器采集相電流，設(shè)計了包括光電編碼器接口電路，電流采集電路、電機功率及驅(qū)動電路在內(nèi)的硬件接口電路并基于模塊設(shè)計思想開發(fā)了軟件模塊;同時開發(fā)了PC機端轉(zhuǎn)速監(jiān)控軟件，最后分析與研究了影響轉(zhuǎn)臺平穩(wěn)性因素，采用滑模變結(jié)構(gòu)控制策略對轉(zhuǎn)臺速度控制，并通過matlab/simulink仿真證明了控制器是符合系統(tǒng)設(shè)計要求