MEMS氣流式傾角傳感器的設計與制作工藝的研究.pdf_第1頁
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1、分類號：TP212@單位代碼：11232密級：◆f京信息科技太學工學碩士學位論文MEMS氣流式傾角傳感器的設計與制作工藝的研究學院：理學院學科(專業(yè))：微電子學與固體電子學學號：2011020331作者：林建華指導教師：張福學教授完成日期：二零一四年一月十三日碩士學位論文原創(chuàng)性聲明本人鄭重聲明：所呈交的論文題目為《ⅧMS氣流式傾角傳感器的設計與制作工藝的研究》學位論文，是本人在導師指導下，進行研究工作所取得的成果。盡我所知，除了文中特別

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