基于機(jī)器視覺(jué)的晶圓裸片計(jì)數(shù).pdf

1、基于機(jī)器視覺(jué)的晶圓裸片計(jì)數(shù)可用于提高半導(dǎo)體生產(chǎn)效率。目前國(guó)內(nèi)外很多集成電路制造企業(yè)的離線晶圓裸片計(jì)數(shù)工作依然是人工計(jì)數(shù)，這種方式容易受到各種人為因素影響，效率跟準(zhǔn)確率都比較低，結(jié)合當(dāng)前產(chǎn)業(yè)升級(jí)的緊迫需要，這種人工方式需要刻不容緩的改進(jìn)。
　　 目前已發(fā)表的關(guān)于晶圓的論文大部分是依靠顯微技術(shù)對(duì)裸片質(zhì)量的缺陷檢測(cè)，設(shè)備復(fù)雜，檢測(cè)成本較高。還有一些論文是關(guān)于晶圓上裸片數(shù)目的理論值設(shè)計(jì)，主要研究如何在晶圓上制造更多的裸片。而關(guān)于利用視覺(jué)

2、技術(shù)自動(dòng)計(jì)算實(shí)際裸片數(shù)目的文章尚未公開(kāi)發(fā)表。
　　 本文提出一種基于機(jī)器視覺(jué)的晶圓裸片計(jì)數(shù)方法。該方法首先用Robert算子進(jìn)行邊緣檢測(cè)，獲取晶圓的輪廓，利用RANSAC算法擬合圓，確定晶圓在圖片中的位置，利用RANSAC算法針對(duì)晶圓區(qū)域進(jìn)行多直線檢測(cè)。然后利用晶圓上裸片的布局特點(diǎn)，依據(jù)直線方位把檢測(cè)到的直線分成兩類(lèi)，剔除錯(cuò)誤的直線并計(jì)算兩相鄰直線間的距離。利用提取的幾何特征補(bǔ)全漏檢測(cè)的直線以便完善晶圓內(nèi)部的結(jié)構(gòu)布局信息。最后依