MEMS微驅(qū)動器的設(shè)計、工藝及應(yīng)用.pdf

1、微驅(qū)動器作為MEMS十分重要的分支之一,近年來受到國外和國內(nèi)研究人員的廣泛關(guān)注,并且具有廣闊的應(yīng)用前景。本文提出的低驅(qū)動電壓、大變形的MEMS微驅(qū)動器,可用于微諧振器、微機械光開關(guān)、相控陣天線、RF開關(guān)、移相器等微器件中。
　　論文主要包括以下內(nèi)容:
　　1.本文所研究的MEMS微驅(qū)動器模型是基于壓桿穩(wěn)定、縱橫彎曲、靜電驅(qū)動等原理和MEMS技術(shù)設(shè)計加工的,其結(jié)構(gòu)包括直梁結(jié)構(gòu)和折梁結(jié)構(gòu),本文對其原理與結(jié)構(gòu)尺寸的選取進行了詳細(xì)的

2、介紹。
　　2.對MEMS微驅(qū)動器的參數(shù)進行了優(yōu)化。改變MEMS微驅(qū)動器中梁的厚度,分析對微梁的撓度的影響,當(dāng)微驅(qū)動器的驅(qū)動電壓為11V時,直梁結(jié)構(gòu)和折梁結(jié)構(gòu)所對應(yīng)的最大振動撓度分別為10.31μm和11.27μm;通過改變調(diào)節(jié)電極的長度和個數(shù),分析了軸向載荷大小對微驅(qū)動器最大振動撓度的影響。
　　3.介紹了微驅(qū)動器主要的加工工藝,并設(shè)計了驅(qū)動器加工所需掩膜版、加工流片以及微梁的裝配。
　　4.將微驅(qū)動器用于RF開關(guān),