網(wǎng)板自動對板精密定位與控制系統(tǒng)研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、該文以網(wǎng)板自動對板過程中位置偏差檢測及整個系統(tǒng)控制技術(shù)的研究與實現(xiàn)為論題,討論了在玻璃母板上設(shè)計差動光柵結(jié)構(gòu),借助差動摩爾信號判斷幾何體在平面坐標(biāo)中三自由度方向(水平、垂直和角度)微小位置偏差的檢測方法.根據(jù)被控對象模型的不確定性,運動過程的非線性、復(fù)雜性特性,詳細(xì)分析了各種可能的位置偏差關(guān)系情況,提出了基于知識庫的專家系統(tǒng)方案并給出了相應(yīng)控制流程.在控制執(zhí)行部分,采用了步進電機大步驅(qū)動與細(xì)分步驅(qū)動相結(jié)合的方式,兼顧了實時性與定位精度兩

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