計算機仿真及其在半導體后端制造中的應用.pdf

1、半導體制造是一個流程高度復雜，資金高度密集的加工過程，與其他產品的制造過程相比，半導體制程的特殊性表現(xiàn)在產品工序繁多，系統(tǒng)動態(tài)行為十分復雜，涉及許多不確定的變化因素，所以很難運用一般的解析方法來對其進行分析，在這種情況下，計算機仿真技術就顯得格外重要。計算機仿真是用于分析復雜系統(tǒng)，解決科研、管理和工程技術三難題的有效工具。計算機仿真的基本思想就是建立一個能夠模仿某個真實系統(tǒng)(設計方案)動態(tài)行為的計算機模型，利用該模型來對真實系統(tǒng)的行為變

2、化進行數(shù)值模擬實驗，通過重復運行的模擬實驗以及對模擬輸出數(shù)據的分析來達到對該系統(tǒng)在給定條件下的動態(tài)行為的了解評估，進而改進或者優(yōu)化系統(tǒng)的目的。 本文首先通過對計算機仿真的基本原理進行簡單介紹和分析，進一步闡述了系統(tǒng)仿真建模的一般步驟及方法，并簡單介紹了當前比較流行計算機仿真軟件-ARENA。接著，透過半導體后端制造既封裝測試階段中常見的一些問題，探討了如何利用計算機仿真技術解決諸如改善制程、優(yōu)化產線布置、縮短生產周期、提高設備利

3、用率、減少在制品和材料存量、以及合理配置人機配比等一系列生產和管理問題。之后，本文討論了如何對計算機仿真建模進行檢驗，其中包括了仿真模型的功能性驗證以及有效性核實。最后，本文也提出了現(xiàn)有的仿真技術中存在一些問題以及發(fā)展方向，比如并行化，網絡應用處理，面向對象的仿真技術等等。 應用實踐表明，計算機仿真技術對于解決半導體后端生產中的問題是可行并且有效的，能夠很方便地構建出復雜的動態(tài)生產系統(tǒng)模型，極大地縮短了項目開發(fā)周期，避免不必要的