計算機仿真及其在半導(dǎo)體后端制造中的應(yīng)用.pdf

1、半導(dǎo)體制造是一個流程高度復(fù)雜，資金高度密集的加工過程，與其他產(chǎn)品的制造過程相比，半導(dǎo)體制程的特殊性表現(xiàn)在產(chǎn)品工序繁多，系統(tǒng)動態(tài)行為十分復(fù)雜，涉及許多不確定的變化因素，所以很難運用一般的解析方法來對其進行分析，在這種情況下，計算機仿真技術(shù)就顯得格外重要。計算機仿真是用于分析復(fù)雜系統(tǒng)，解決科研、管理和工程技術(shù)三難題的有效工具。計算機仿真的基本思想就是建立一個能夠模仿某個真實系統(tǒng)(設(shè)計方案)動態(tài)行為的計算機模型，利用該模型來對真實系統(tǒng)的行為變

2、化進行數(shù)值模擬實驗，通過重復(fù)運行的模擬實驗以及對模擬輸出數(shù)據(jù)的分析來達到對該系統(tǒng)在給定條件下的動態(tài)行為的了解評估，進而改進或者優(yōu)化系統(tǒng)的目的。 本文首先通過對計算機仿真的基本原理進行簡單介紹和分析，進一步闡述了系統(tǒng)仿真建模的一般步驟及方法，并簡單介紹了當(dāng)前比較流行計算機仿真軟件-ARENA。接著，透過半導(dǎo)體后端制造既封裝測試階段中常見的一些問題，探討了如何利用計算機仿真技術(shù)解決諸如改善制程、優(yōu)化產(chǎn)線布置、縮短生產(chǎn)周期、提高設(shè)備利

3、用率、減少在制品和材料存量、以及合理配置人機配比等一系列生產(chǎn)和管理問題。之后，本文討論了如何對計算機仿真建模進行檢驗，其中包括了仿真模型的功能性驗證以及有效性核實。最后，本文也提出了現(xiàn)有的仿真技術(shù)中存在一些問題以及發(fā)展方向，比如并行化，網(wǎng)絡(luò)應(yīng)用處理，面向?qū)ο蟮姆抡婕夹g(shù)等等。 應(yīng)用實踐表明，計算機仿真技術(shù)對于解決半導(dǎo)體后端生產(chǎn)中的問題是可行并且有效的，能夠很方便地構(gòu)建出復(fù)雜的動態(tài)生產(chǎn)系統(tǒng)模型，極大地縮短了項目開發(fā)周期，避免不必要的