橫向調(diào)制線偏振光測(cè)量導(dǎo)軌直線度的方法研究.pdf

1、導(dǎo)軌直線度誤差直接影響到工件的加工精度,所以導(dǎo)軌直線度誤差的測(cè)量是工業(yè)測(cè)量領(lǐng)域里一個(gè)非常重要的項(xiàng)目。 目前的各種直線度測(cè)量方法中,激光準(zhǔn)直測(cè)量法由于其實(shí)現(xiàn)簡(jiǎn)單,成本低廉,分辨率高等優(yōu)點(diǎn)而備受關(guān)注。但傳統(tǒng)的以光強(qiáng)為基準(zhǔn)的測(cè)量方法由于容易受到光束衍射,光強(qiáng)變化、光靶傾斜等情況的影響,其精度并不高。由于偏振光的偏振態(tài)不易受到光強(qiáng)、環(huán)境等因素的影響,所以本研究室提出了利用線偏振光測(cè)量導(dǎo)軌直線度的方法。但原光是以磁光調(diào)制原理進(jìn)行偏振角調(diào)制

2、的,結(jié)構(gòu)復(fù)雜,調(diào)制效果也不夠理想。鑒于此,本文提出了一種簡(jiǎn)單的,基于偏振干涉原理的線偏振光橫向調(diào)制技術(shù),并設(shè)計(jì)了利用該調(diào)制光束進(jìn)行導(dǎo)軌直線度誤差測(cè)量的相應(yīng)方法,為利用偏振光進(jìn)行導(dǎo)軌直線度的測(cè)量提供了一種新的思路。另外,為了配合直線度的測(cè)量,本文還提出了一種基于偏振分光原理的偏振角檢測(cè)方法。這種方法的最大優(yōu)點(diǎn)是可以消除光強(qiáng)變化對(duì)測(cè)量的影響,且較以往相位檢測(cè)法等實(shí)現(xiàn)起來(lái)更加方便。 本文從原理上對(duì)兩套方法作了深入的理論分析,并進(jìn)行了大