半導體晶元廠廠務制程相關系統(tǒng)改進.pdf

1、廠務的氣體、化學(包括CMP研磨液系統(tǒng))和純水系統(tǒng)為整條生產(chǎn)線提供氣體、化學品和純水，它們與芯片直接接觸，所以被稱為制程相關系統(tǒng)。制程相關系統(tǒng)的穩(wěn)定與否直接關系生產(chǎn)線生產(chǎn)是否正常，所以，在現(xiàn)代晶元廠的建造成本中，制程相關系統(tǒng)的建設費用要占到一半以上的廠務建設費用。本課題根據(jù)作者在8英寸、12英寸晶元廠的實際建廠和運行經(jīng)驗，系統(tǒng)介紹廠務制程相關系統(tǒng)中純水和化學系統(tǒng)的組成、結構等各個方面，并針對一些制程相關系統(tǒng)的關鍵問題，嘗試給出解決方案，

2、主要內(nèi)容如下：(1)純水系統(tǒng)節(jié)水設計純水系統(tǒng)設計往往只注重純水回收率一個指標，但作者提出，應該在純水系統(tǒng)設計，運行的各個階段，系統(tǒng)的整個流程乃至全廠務系統(tǒng)中貫徹節(jié)水的觀念。本文分四個方向進行探討：A.純水流程布置。B.流程中各步驟再生廢水回收。C.非純水系統(tǒng)排水回收至純水系統(tǒng)。D.系統(tǒng)運行中廢水的回收。貫徹以上四個方面的各項措施，以設計用量為90立方米/小時的純水系統(tǒng)為例，經(jīng)過改良的純水系統(tǒng)夏天要比傳統(tǒng)純水系統(tǒng)多節(jié)水703立方米/天，冬

3、天也要多節(jié)水683立方米/天左右，不計入A、B、D項，僅C項就可以使純水回收率由傳統(tǒng)的65%提高到71%。(2)化學系統(tǒng)改進化學系統(tǒng)是與無塵室生產(chǎn)線緊密相聯(lián)系的系統(tǒng)，因此，加強對無塵室設備的監(jiān)控，改進關鍵系統(tǒng)的安全穩(wěn)定性就成為化學系統(tǒng)的主要著力之處。作者提出了以下幾條措施，一為要酸控制，有助于避免無塵室設備發(fā)生問題時的錯誤要酸；二為要酸時間計算，作者自己編寫軟件，大大提高了計算要酸時間的效率，方便了運轉工作。三為DEV混酸系統(tǒng)流程改進，