三乙氧基硅烷歧化制取甲硅烷工藝研究.pdf

1、甲硅烷作為一種提供硅組分的氣體源,可用于制造高純度的多晶硅,因其高純度和能實現精細控制已成為許多其它硅源無法取代的重要特殊氣體,制取甲硅烷的方法主要是硅化鎂和鹽酸反應,本論文以三乙氧基硅烷為原料,通過歧化反應制取甲硅烷,此方法是一種制取甲硅烷的新工藝,該工藝具有制取甲硅烷純度高,不腐蝕設備,無污染的優(yōu)點。通過對溶劑、溫度、助催化劑、藥品預處理等影響因素的研究,確定三乙氧基硅烷歧化制取甲硅烷工藝參數：以30g三乙氧基硅烷為準,THF最佳用

2、量為20ml,反應最佳溫度為70~73℃,催化劑最佳用量為1.5g,助催化劑用量為1.0g,反應時間3小時。通過氣質聯用、氣相色譜定性分析,確定歧化反應的副產物為(H5C2O)3SiOSi(OC2H5)3,并通過氣相色譜定量分析,確定產物收率。通過對硅原子的結構和性質,以及硅烷偶聯機理中的化學鍵合理論的研究,確定三乙氧基硅烷歧化反應機理為氟離子配位削弱Si-H鍵,從而導致氧原子對硅原子的親核進攻所致。并對甲硅烷氧化機理進行探討,認為甲硅