高速精密氣浮定位平臺設計方法.pdf

1、本文提出了一種面向IC封裝的高速精密氣浮定位平臺。深入研究了以小孔節(jié)流靜壓氣浮導軌支承高速精密定位平臺的靜態(tài)特性和設計方法。本文主要研究內(nèi)容和研究成果可以概括為以下幾個方面： ◇根據(jù)流體力學連續(xù)性方程和運動方程，研究了小孔節(jié)流靜壓氣浮導軌的特性，分析了小孔節(jié)流器孔徑和氣膜厚度與靜壓氣浮導軌承載能力、剛度和耗氣量的內(nèi)在關系，給出了靜壓氣浮導軌結構設計方法。 ◇通過模擬仿真給出了靜壓氣浮導軌的一組優(yōu)化參數(shù)，并校核了所設計的高

2、速精密氣浮平臺的靜態(tài)性能。 ◇提出了一種基于音圈電機直接驅(qū)動，靜壓氣浮導軌支承，靜壓氣浮解耦的高速精密定位平臺。該方案應用了音圈電機直接驅(qū)動，消除了現(xiàn)有精密定位平臺常用的伺服電機-滾動絲杠-螺母機構形式存在返程間隙和摩擦的問題；應用了靜壓氣浮導軌支承，消除了滾動導軌支承存在摩擦的問題；應用氣浮解耦機構將驅(qū)動電機布置在基座上，減小了運動慣量。這些措施為高速精密定位平臺性能的提高提供了可能。 ◇設計和繪制了高速精密氣浮定位平