硬質(zhì)合金豎式沉積爐的研究與改進.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、本文就沉積工藝的特點對豎式沉積爐的結(jié)構(gòu)選型進行了研究，比較了中頻加熱和電阻加熱兩種加熱方式的加熱原理和爐型特點，確定電阻加熱是豎式沉積爐合適的加熱方式，結(jié)合沉積爐的作業(yè)特點，分析了爐襯選材的特殊要求。就當(dāng)前沉積爐電熱絲頻繁燒斷的現(xiàn)象，運用電熱體單位表面功率理論，對其電熱體單位表面功率進行了測算和分析，結(jié)合其具體的安裝形式，確定原因在于電熱絲的單位表面功率設(shè)計余量不足，加之電熱絲遮蔽系數(shù)較大，以及電熱絲引出端的焊接形式不當(dāng)。根據(jù)新的工藝要

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