微玻璃半球諧振陀螺的結(jié)構(gòu)設(shè)計及工藝研究.pdf

1、半球諧振陀螺是利用Coriolis效應(yīng)工作的振動慣性器件，由于這種陀螺具有較高的精度和可靠性，而且擁有較長的工作壽命，所以其極具發(fā)展?jié)摿?。MEMS是將微電子技術(shù)與機械工程融合在一起的一種工業(yè)技術(shù)，其具有微型化、智能化、多功能、高集成度和適于大批量生產(chǎn)的特點。本論文提出了基于MEMS技術(shù)的微型玻璃半球諧振陀螺的設(shè)計構(gòu)想，設(shè)計并制備出不同結(jié)構(gòu)的微型玻璃半球諧振陀螺，具有高性能、小體積和低成本的優(yōu)點。
　　本文首先介紹了微型半球諧振陀螺

2、的研究背景和國內(nèi)外現(xiàn)狀，分析了半球諧振陀螺的工作原理。在此基礎(chǔ)上，本文提出了基于吹塑成型的微玻璃半球諧振子結(jié)構(gòu)，并通過有限元仿真對微玻璃半球諧振子進(jìn)行了模態(tài)分析和諧響應(yīng)分析，得到其諧振頻率;提出了環(huán)形電極和硅電極兩種結(jié)構(gòu)，對兩種電極結(jié)構(gòu)與諧振子的有效平均距離進(jìn)行了計算。然后針對上述微玻璃半球諧振子結(jié)構(gòu)及電極結(jié)構(gòu)特點，分別設(shè)計了基于同步吹塑成型和基于硅-玻璃-硅三層陽極鍵合的微玻璃半球諧振陀螺的工藝制備流程，并完成了芯片的加工制備。最后，