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1、西南科技大學(xué)碩士學(xué)位論文非晶CHN薄膜的制備及特性研究姓名:李建根申請學(xué)位級別:碩士專業(yè):凝聚態(tài)物理指導(dǎo)教師:吳衛(wèi)東2011西南科技大學(xué)碩士研究生學(xué)位論文第1I頁AbstractCarbonnitridefilmshavebeenattractedmuchattentionbecauseoftheirbulkmodulusmaybegreaterthanthatofdiamondaccordingtoLiuandCohen’Scalcu
2、lationThehypotheticalC3N4crystalwaspredictedtohavehighthermalconductivitylargebandgap,andhighhardnesssimilartothatofdiamondWorldwideefforthasbeenmadetosynthesizethismaterial,suchasreactivemagnetronsputtering,laserablatio
3、n,ionbeamdeposition,aswellasplasmaenhancedchemicalvapordeposition(CVD)UnfortunatelythefilmsobtainedbythesetechniquesareusuallyamorphousInafewcases,smalltetrahedralC3N4phasecrystallitesembeddedinaCNxmatrixareobservedMoreo
4、vertherelationshipbetweenenergybandstructureandtheeffectofpreparationparameterwasseldomreportedInthisstudythehydrogenatedamorphouscarbonnitridethinfilmsweresynthesizedbymeansofselfmadelow—pressureplasmachemicalvapordepos
5、ition(LPPCVD)byuseofhighpureN2,CH4andH2asthefunctionofpowertheratioofN2toCH4andtemperatureontheSi(111)andquartzwaferThisdissertationfocusesonthevariationbetweenenergybandstructureandpreparationparametertheresultsweredisc
6、ussedandanalyzedasfollows:(1)Thegrowthraterisedfirstthenreducedwiththeincreasingofpowerwhenthepowerwas70Wthemaximumofdepositionratewasachieved(2)TherapidincorpationofnitrogenforN2/CH4ration,thespC—N,sp上CNandsp3CNexistedT
7、hequantityandsizeofsp2clustersincreasedandID/IGratiisedwhentheN2/CH4ratioincreasedThinfilmbecamegraphitizationRamanspectrumdemonstredfilmshadgraphite—likestructure,withtheincreasingofpower,theID/IGratiobecamesamller(3)Th
8、eUv_VisnearinfraredspectrumshowedthatfilmshadstrongabsorptioninUVlightandgreattransmissioninnear—infraredlightThedepositedfilmshadlessopticalgapatlowpowerandhighpowerthemaximumofopticalgapwasobtainedatthepowerof30WWhenth
9、enitrogenconteningaseswasless,theopticalgapwasbigger,anditwasreducedwhenthenitrogencontenincreasedComparedwiththenitrogencontent,thepowerhadgreater一一——一———————————————____—______________●__________—●—●_l__●____●———______
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