版權(quán)說(shuō)明:本文檔由用戶提供并上傳,收益歸屬內(nèi)容提供方,若內(nèi)容存在侵權(quán),請(qǐng)進(jìn)行舉報(bào)或認(rèn)領(lǐng)
文檔簡(jiǎn)介
1、指導(dǎo)小組成員鄭國(guó)祥教授龔大衛(wèi)高級(jí)工程師江素華博士AbstractW】ththeraplddeveIopmentoIdomosticnanometerindustrytheper[orrnanceIaspectionstandardizationofjmportsemIconductordevlcesandFelevantnanometermaterialshasbecomeimportantpartoftheXationalEleven
2、thFive—YearP1aninsci@NceresearchBesidesfortheparticu]arphysica!andchemica]propertiesin138nodevicemanufacturingnanofilmhasbeenthebotspot1nhanoiechnologyresearchTodeterminetheopto—electronicpropertiesofthenanofi】mthickness
3、inspectlonisthecriticaIpointHoweverthemostavailableinspectionmethodsfornanofilmthicknessbringmanynegativeeffects,suchasnarrowinspectingscale,longtimeanddamagingforproductsSo,thosemethodscannotmeettherequirementsofstandar
4、dizatlonoftestmethodsandtheneedsforfastnondestructiveandaccuratetestingproposedbyClQ(ChineseinspectlonandQuarantine】ForouhiB100merOispersioffEquationsandwidespectrue(1901000nm)8pectrophotom亂ryareintroducedtocalculatethef
5、ilmthickness(d)ofmetal,set3】conductotandd】eleetr】cflImandthedielectr】cconstant】ndirectlYComparisonofresultswlththeellipsometerandSEMmeasurementsverifythetestresultsandshowthatthen&kmethod1sak1ndoffastandaccuratetestmetho
6、dInadditioilForouhi—BloomerDispersionEquatlonsandRCWAareintroducedtocaiculateanddescribethetrenchdepthandstepwidthofone—dlmerislonalperIodicstructm’eonnanofllm1、hen&kmethodis[1ewandvaluableinnondestructiveandin—Iineinspe
7、ctionofRanometerfilm’soptoelectricalproperties,whichhasnotwidelyused】nnanoindustryandtheresultsortbIssystematicresearchprovideiroperrantreferenceframeforfurtherapplicatiorlofthistestmethodandthestan(brdlzatjooolnano,艄“、r
溫馨提示
- 1. 本站所有資源如無(wú)特殊說(shuō)明,都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請(qǐng)下載最新的WinRAR軟件解壓。
- 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等,如果需要附件,請(qǐng)聯(lián)系上傳者。文件的所有權(quán)益歸上傳用戶所有。
- 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙,網(wǎng)頁(yè)內(nèi)容里面會(huì)有圖紙預(yù)覽,若沒(méi)有圖紙預(yù)覽就沒(méi)有圖紙。
- 4. 未經(jīng)權(quán)益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
- 5. 眾賞文庫(kù)僅提供信息存儲(chǔ)空間,僅對(duì)用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護(hù)處理,對(duì)用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯,并不能對(duì)任何下載內(nèi)容負(fù)責(zé)。
- 6. 下載文件中如有侵權(quán)或不適當(dāng)內(nèi)容,請(qǐng)與我們聯(lián)系,我們立即糾正。
- 7. 本站不保證下載資源的準(zhǔn)確性、安全性和完整性, 同時(shí)也不承擔(dān)用戶因使用這些下載資源對(duì)自己和他人造成任何形式的傷害或損失。
最新文檔
- ito薄膜光學(xué)性能的研究
- ITO薄膜光學(xué)性能的研究.pdf
- 光學(xué)薄膜光學(xué)特性檢測(cè)中若干關(guān)鍵問(wèn)題的研究.pdf
- 激光技術(shù)在防偽印刷中的應(yīng)用(PET全息薄膜光學(xué)力學(xué)性能研究).pdf
- 靜電自組裝薄膜光學(xué)非線性測(cè)量的實(shí)驗(yàn)與理論研究.pdf
- 納米磁性液體薄膜光學(xué)特性研究.pdf
- KNSBN與SBN電光薄膜光學(xué)特性研究.pdf
- PLZT、BST鐵電薄膜光學(xué)特性研究.pdf
- Fabry-Perot薄膜濾波器薄膜光學(xué)特性的研究.pdf
- 薄膜光學(xué)濾光片的實(shí)驗(yàn)制備及其光學(xué)特性研究.pdf
- 金屬陶瓷薄膜光學(xué)常數(shù)的尺度效應(yīng).pdf
- 對(duì)于單一傳輸測(cè)量薄膜光學(xué)常數(shù)的測(cè)定方法:關(guān)鍵綜述
- 干涉測(cè)量技術(shù)在光學(xué)電流互感器中的應(yīng)用研究.pdf
- CN薄膜光學(xué)性能及生物相容性研究.pdf
- 氧化鋅薄膜光學(xué)和光電導(dǎo)特性的研究.pdf
- 光學(xué)渦旋在成像中的應(yīng)用研究.pdf
- 數(shù)字圖像處理技術(shù)在薄膜厚度測(cè)量中的應(yīng)用研究.pdf
- 雙波長(zhǎng)數(shù)字全息干涉及其在光學(xué)測(cè)量中的應(yīng)用研究.pdf
- 摻鉺富硅氧化硅薄膜光學(xué)性能研究.pdf
- 氫化非晶氮化硅薄膜光學(xué)性質(zhì)調(diào)控及應(yīng)用.pdf
評(píng)論
0/150
提交評(píng)論