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1、指導(dǎo)小組成員鄭國祥教授龔大衛(wèi)高級工程師江素華博士AbstractW】ththeraplddeveIopmentoIdomosticnanometerindustrytheper[orrnanceIaspectionstandardizationofjmportsemIconductordevlcesandFelevantnanometermaterialshasbecomeimportantpartoftheXationalEleven
2、thFive—YearP1aninsci@NceresearchBesidesfortheparticu]arphysica!andchemica]propertiesin138nodevicemanufacturingnanofilmhasbeenthebotspot1nhanoiechnologyresearchTodeterminetheopto—electronicpropertiesofthenanofi】mthickness
3、inspectlonisthecriticaIpointHoweverthemostavailableinspectionmethodsfornanofilmthicknessbringmanynegativeeffects,suchasnarrowinspectingscale,longtimeanddamagingforproductsSo,thosemethodscannotmeettherequirementsofstandar
4、dizatlonoftestmethodsandtheneedsforfastnondestructiveandaccuratetestingproposedbyClQ(ChineseinspectlonandQuarantine】ForouhiB100merOispersioffEquationsandwidespectrue(1901000nm)8pectrophotom亂ryareintroducedtocalculatethef
5、ilmthickness(d)ofmetal,set3】conductotandd】eleetr】cflImandthedielectr】cconstant】ndirectlYComparisonofresultswlththeellipsometerandSEMmeasurementsverifythetestresultsandshowthatthen&kmethod1sak1ndoffastandaccuratetestmetho
6、dInadditioilForouhi—BloomerDispersionEquatlonsandRCWAareintroducedtocaiculateanddescribethetrenchdepthandstepwidthofone—dlmerislonalperIodicstructm’eonnanofllm1、hen&kmethodis[1ewandvaluableinnondestructiveandin—Iineinspe
7、ctionofRanometerfilm’soptoelectricalproperties,whichhasnotwidelyused】nnanoindustryandtheresultsortbIssystematicresearchprovideiroperrantreferenceframeforfurtherapplicatiorlofthistestmethodandthestan(brdlzatjooolnano,艄“、r
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