數(shù)字圖像處理技術(shù)在薄膜厚度測(cè)量中的應(yīng)用研究.pdf

1、本研究為“醫(yī)用快速生物芯片厚度測(cè)量”的一部分，主要采用數(shù)字圖像處理技術(shù)對(duì)系統(tǒng)中獲得的干涉圖像進(jìn)行處理，得到薄膜厚度。通過數(shù)字圖像處理能提高圖像質(zhì)量和測(cè)量精度。 首先根據(jù)干涉原理，對(duì)插入薄膜后的邁克爾遜干涉光路進(jìn)行分析，得到薄膜厚度與插入薄膜前、后干涉圖像各級(jí)干涉環(huán)半徑關(guān)系式。然后在處理千涉圖像中，對(duì)多種預(yù)處理方法進(jìn)行比較，選取頂帽變換和底帽變換方法，提高了圖像質(zhì)量；對(duì)多種提取條紋中心線方法進(jìn)行比較，采用形態(tài)學(xué)中對(duì)二值圖像骨骼化的

2、方法對(duì)干涉灰度圖像提取亮紋中心線，結(jié)果表明，提取的中心線與實(shí)際中心線吻合程度好；采用圓處理的hough變換，得到用象素值表示的亮紋半徑。此數(shù)據(jù)誤差范圍為5％。為半徑的獲取提供了一種有效的方法。最后，將薄膜插入前、后的干涉圖像與采用美國(guó)材料與測(cè)試協(xié)會(huì)標(biāo)準(zhǔn)得到的數(shù)據(jù)庫(kù)中圖像進(jìn)行匹配，得到薄膜厚度。此數(shù)據(jù)誤差較大。經(jīng)過分析發(fā)現(xiàn)，導(dǎo)致此誤差的原因是干涉環(huán)包含象素點(diǎn)過少。因此，提出了一種方法減小誤差，將經(jīng)過hough變換得到的半徑值代入上面得到的