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文檔簡介
1、本文運(yùn)用微機(jī)電系統(tǒng)動力學(xué)理論對新型MEMS微機(jī)械振動式陀螺儀進(jìn)行研究，探討了微陀螺儀的驅(qū)動方式和驅(qū)動結(jié)構(gòu)，并研究了作為驅(qū)動力的靜電力的計(jì)算方法，進(jìn)而對我們提出的一種新型雙級解耦微機(jī)械陀螺儀進(jìn)行了動力學(xué)仿真及壓-電耦合分析研究。 首先，建立一對驅(qū)動梳齒分析模型，研究了影響靜電力變化的主要因素：交錯(cuò)位移和外加電勢對靜電力的影響趨勢，分析了電勢分布，電磁密度分布等問題。在此基礎(chǔ)上繼續(xù)考察了多組梳齒之間的電勢影響以及靜電力的變化情況，以
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