Fe-Zr-B磁性薄膜的制備與研究.pdf

1、蘇州大學(xué)碩士學(xué)位論文Fe-Zr-B磁性薄膜的制備與研究姓名：程新利申請(qǐng)學(xué)位級(jí)別：碩士專業(yè)：凝聚態(tài)物理指導(dǎo)教師：許裕生2001.5.1●! ! ：! ! ! 燮絲墮墮竺型魚(yú)皇塑窒 一一——塑L 羔—～A b s t r a c tT h ed e v e l o p m e n to fe 1 e c t r o n i Ca n dm a g n e t i ci n s t r u m e n t se n c o u r a g e

2、 si n v e s t i g a t i o no fs o f tm a g n e t i cf i i mm a t e r i a l sn o w a d a y s ．A sak i n do fg o o ds o f tm a g n e t i cm a t e r i a l s ，F(xiàn) e —Z r —Bh a v ea r o u s e dg r e a ta t t e n t i o nt or e s

3、 e a r c h e r sa n d l o t so f r e s e a r c hw o r kh a v eb e e n d o n e ．I n t h i sd i s s e r t a t i o n ．F e —Z r —Bt h i nf i l m sh a v eb e e np r e p a r e d ，t h e nt h e i rs t r u c t u r e s ，p r o p e

4、r t i e sh a y eb e e ns t u d i e da n d t h em e c h a n i s m so f g o o d s o f tm a g n e t i c h a sb e e ne x p ] a i n e d ． F e —Z r —B t h i nf i i m sw e r ed e p o s i t e d o n c o m m o n g l a s s s u b s

5、t r a t e s b y D C m a g n e t r o n s p u t t e r i n gt e c h n i q u ew i t hF e —Z r —B t e r n a r ya l l o yt a r g e t ．T h em i c r o s t r u c t u r e so fa s - s p u t t e r e dF e —Z r —Bt h i nf i l m s w e

6、r ec h a r a c t e r i z e d b ys e v e r a la n a l y s i st e c h n i q u e s ，s u c h a s X R D ，T E M ，X P S ， M S s s b a u e rS p e c t r o s c o p y a n d s oo n ．T h e r e s u l t ss h o wt h a tt h e a s —s p u

7、r t e r e df i l m s a r ea m o r p h o u s ：F e ，Z r ，Be l e m e n t s w e r e p a r t l Y o x i d i z e d o n t h e s u r f a c e s o f f i i m s a n d t h ec o m b i n a t i o n o f F e —Z r a n d F e —B a r em a i n

8、l Y i n d e e p e r p a r t ．M S s s b a u e rS p e c t r o s c o p ys h o w ss i xe x p a n d e dp e a k sa n d i s s y m m e t r i c a lr e l a t i v et oz e r o v e l o c i t y p e a k s ：N oa n a l y z a b l e Q —F e

9、 b c c p h a s ef o r m e d ：Z ra n dBa t o m sa r o u n dF ea t o m s c a u s e t h er e d u c t i o no fh y p e r f i n ef i e l da t F en u c ] e u sa n d m a k et h ed i s t r i b u t i o no f m a g n e t i ch y p e

10、r f i n ef i e l dg i v et w op e a k s ．T h eF e —Z r —Bt h i nf i i m sp r e p a r e d u n d e rp r o p e rs p u t t e r i n g p a r a m e t e r sw e r ea n n e a l e da td i f f e r e n tt e m p e r a t u r ef o rn i

11、n e t ym i n u t e sa n dt e s t e db y X R D ，T E M ，V S M ．T h er e s u l t ss h o w t h a t t h e r e i s as h a r pd i f f r a c t i o np e a k i n X R D s p e c t r u mo f t h e f i l m a n n e a l e d a t 5 5 0 ”C

12、：T h e f i i m s h a dp a r t l Yc r y s t a l l i z e db ya n n e a l i n g a n dt h ed i f f r a c t i o n p e a kw a st h o u g h tt o b e t h e p r e f e r r e d ( 1 1 0 ) p e a k ．T h er e s u ] t so fV S M s h o w

13、t h a t t h em a g n e t i c p r o p e r t i e s o f t h i n f i I m s h a v e b e e n i m p r o v e d g r e a t l y ：T h em a g n e t i z a t i o na t a n a p p l i e df i e l do f2 0 0 k A ／m ( B M ) i s1 ．4 2 T a n d

14、t h ec o e r c i v i t yh a dd e c r e a s e dg r e a t l y ，T h ea n n e a l e df i I m sc o n s i s to f b c cp h a s ea n da m o r p h o u sp h a s ea n dt h ec o n s i s t e n c eo ft w op h a s e s i s g o o dt od e

15、 c r e a s et h em a g n e t i ca n i s o t r o p ya n dm a k ef i l m se x h i b i tg o o ds o f tm a g n e t i c p r o p e r t i e s ．K e y w o r d s ： F e —Z r —B t h i n f i l m s S o f t m a g n e t i cp r o p e r t