負(fù)壓吸附式氣浮平臺運載單元的設(shè)計與優(yōu)化.pdf

1、隨著液晶顯示技術(shù)的發(fā)展，大尺寸液晶顯示屏的傳輸和在線檢測也越來越受到人們的重視。傳統(tǒng)方式已不能滿足生產(chǎn)的實際需求，自第7代生產(chǎn)線以后，均采用無接觸氣浮傳輸和檢測平臺對平板進(jìn)行傳輸和檢測。
　　按照供壓方式的區(qū)別，氣浮平臺分為正壓空氣平臺和負(fù)壓吸附式氣浮平臺。后者具有正負(fù)壓交錯布置的出口，因此，與前者相比，壓強(qiáng)在氣膜的分布更加平穩(wěn)，更適合應(yīng)用于液晶顯示屏表面缺陷（精度為1μm）的在線檢測系統(tǒng)。
　　文中建立起負(fù)壓吸附式氣浮平臺

2、的流域模型，由于氣浮特性與氣浮平臺的工作條件和本身的結(jié)構(gòu)參數(shù)密切相關(guān)，通過數(shù)值模擬，得到氣浮臺相關(guān)結(jié)構(gòu)的理想?yún)?shù)，從而保證負(fù)壓吸附式氣浮平臺氣膜間隙的高穩(wěn)定。利用CFD(Computational Fluid Dynamics)技術(shù)進(jìn)行劃分網(wǎng)格和仿真計算，經(jīng)過后處理，觀察流域中壓強(qiáng)、速率、質(zhì)量流量及承載力的大小，然后改變氣源壓力（正壓和負(fù)壓）及幾何參數(shù)的大小，探究流體靜態(tài)特性的變化規(guī)律。得出結(jié)論:氣源壓力、節(jié)流孔徑、節(jié)流管高度、氣膜厚度

3、，對氣體靜態(tài)特性均有不同程度的影響，氣膜內(nèi)的承載力與正壓變化成正比，與負(fù)壓和氣膜厚度變化成反比，節(jié)流孔和節(jié)流管的微小變化對靜態(tài)特性的影響不明顯。流域中最大的壓降位置是折線形的節(jié)流彎道處，并且氣體達(dá)到氣膜前，壓強(qiáng)大小保持穩(wěn)定;進(jìn)出口質(zhì)量流量保持守恒，并且負(fù)壓出口占進(jìn)口的35％左右，其余流入大氣。并與正壓空氣平臺比較得出:負(fù)壓吸附式氣浮平臺氣膜內(nèi)的壓強(qiáng)分布更加均勻，流速更加平緩，獲得的氣膜更加平穩(wěn)。最后在形成的系統(tǒng)型原理樣機(jī)進(jìn)行試驗，氣膜間