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1、MEMS(微機(jī)電系統(tǒng))陀螺儀是一種測(cè)量角度或角速度傳感器,應(yīng)用范圍非常廣泛。MEMS陀螺儀包括敏感結(jié)構(gòu)和接口電路兩部分,接口電路拾取陀螺敏感結(jié)構(gòu)因外界角度或角速度輸入而引起的輸出并將其轉(zhuǎn)化為相應(yīng)的電壓變化。MEMS陀螺儀數(shù)字接口電路是目前熱門(mén)研究方向,因此內(nèi)部集成高性能數(shù)模轉(zhuǎn)換器格外重要。一款好的DAC直接決定了數(shù)字接口電路輸出的驅(qū)動(dòng)信號(hào)精度,繼而實(shí)現(xiàn)高效閉環(huán)控制。
本課題應(yīng)用于數(shù)字陀螺驅(qū)動(dòng)電路部分中DAC實(shí)現(xiàn)。本課題主要為數(shù)
2、字化集成提供系統(tǒng)級(jí)原理驗(yàn)證,完成0~20KHz有效帶寬內(nèi)高精度數(shù)模轉(zhuǎn)換。
本文主體內(nèi)容以闡述Sigma-Delta DAC系統(tǒng)工作原理為出發(fā)點(diǎn),對(duì)各組成模塊進(jìn)行系統(tǒng)級(jí)和電路級(jí)設(shè)計(jì)。主要對(duì)數(shù)字插值濾波器,Sigma-Delta數(shù)字調(diào)制器,IDWA算法及SPI接口的數(shù)字實(shí)現(xiàn)進(jìn)行資源優(yōu)化,并對(duì)相應(yīng)模擬設(shè)計(jì)部分進(jìn)行設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn),包括直接電荷轉(zhuǎn)移電路和四階模擬低通濾波器。整體設(shè)計(jì)采用128倍升采樣插值濾波器和MASH2-1結(jié)構(gòu)調(diào)制器完成信號(hào)
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