傾斜濺射和Nd摻雜對CoZr薄膜高頻軟磁性能的影響.pdf

1、本文主要圍繞傾斜濺射和Nd摻雜對CoZr薄膜高頻軟磁性能的影響開展了系統(tǒng)的研究。分別利用振動樣品磁強計(VSM)、矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀（VNA）、掃描電子顯微鏡(SEM)、原子力顯微鏡(AFM)、X射線衍射儀(XRD)和能譜儀(EDS)對薄膜進行了靜態(tài)磁性能、動態(tài)磁性能、沉積速率、表面形貌以及物相成份的表征。同時發(fā)展了利用LLG方程分析薄膜磁化動力學(xué)參數(shù)規(guī)律的方法。
　　研究發(fā)現(xiàn):傾斜濺射方案一中，CoZr薄膜的各向異性場、矯頑力和鐵磁

2、共振頻率隨著濺射傾斜角度的增大都有上升的趨勢。同時隨著生長磁場的增大，CoZr薄膜的鐵磁共振頻率和矯頑力也都隨之增大。100Oe生長磁場、8°濺射角獲得fr=2.4GHz、Hce=17Oe的最優(yōu)質(zhì)高頻軟磁CoZr薄膜。
　　傾斜濺射方案二中，CoZr薄膜的各向異性場和鐵磁共振頻率都隨著濺射傾斜角度的增大而增大，但其矯頑力隨濺射角度并沒有明顯的變化。100Oe生長磁場、42°濺射角獲得fr=2.8GHz、H=20Oe的最優(yōu)質(zhì)高頻軟磁

3、CoZr薄膜。
　　Nd摻雜CoZr薄膜實驗中，Nd和Zr分別與Co形成了NdCo2和CoZr4的化合物相。稀土元素Nd的摻雜，細化均勻了Co基薄膜的晶粒，降低了Co基薄膜的表面粗糙度。稀土元素摻雜后CoZrNd薄膜都具有較明顯的各向異性場。少量稀土元素摻雜有利于降低薄膜的矯頑力，過量摻雜反而會增大薄膜的矯頑力。少量稀土元素摻雜有利于增加薄膜的鐵磁共振頻率，過量摻雜反而會減小薄膜的鐵磁共振頻率。綜合比較可以發(fā)現(xiàn)CoZr1Nd2這種