硅外延裝備工藝控制軟件設計與實現(xiàn).pdf

1、AthesissubmittedtoZhengzhouUniVersityforthede鏟eeofMasterDesignandImplementationofProcessCon仃01So行w2ureforSiliconEpita婦alEquipmentByWeiChenSupervisor：AssociateProfessorJiansheGaoMecha仃onicsEngineeringSchoolofMechanicalEng

2、ineeringMay，2014摘要摘要作為集成電路生產(chǎn)線重要前端工藝裝備之一，硅外延裝備負責硅片的外延工藝處理，在給定的外延襯底上生成一層導電型、電阻率，厚度與晶格結(jié)構等都滿足嚴格要求的新單晶層，對后續(xù)工藝的順利進行和最終產(chǎn)品的質(zhì)量有著至關重要的影響。本文以某型號硅外延裝備為研究對象，旨在完成其工藝反應系統(tǒng)控制軟件的設計與開發(fā)工作。首先分析了裝備工藝反應系統(tǒng)的主要功能及其硬件結(jié)構的特點，結(jié)合工藝反應系統(tǒng)控制軟件的用戶需求，采用UML建

3、模語言建立軟件的需求模型，以提供軟件設計的依據(jù)。然后，闡述了軟件架構的基本概念與設計原則。在此基礎上，依據(jù)軟件需求模型，運用層次化、模塊化設計方法完成工藝控制軟件的架構設計，并通過UML語言建立軟件各個層次的靜態(tài)模型。為實現(xiàn)軟件功能模塊的設計，引入設計模式這一方法。對設計模式的概念、類型，以及常見模式進行分析研究，然后根據(jù)軟件架構設計所劃定的功能模塊的特點，確定合理的設計模式完成其設計工作，并采用UML語言建立其靜態(tài)模型。最后，在Net

4、環(huán)境下，采用Cjfj編程語言完成代碼的編寫工作，并分別從單元測試、集成測試和系統(tǒng)測試這三個層面對軟件進行測試。結(jié)果表明，所研發(fā)軟件能夠很好地滿足用戶要求；此外，層次化、模塊化設計方法和設計模式的運用獲得了裝備控制軟件的易擴展、易維護等特性，以及升級換代時快速市場響應的能力。目前該軟件已成功用于硅外延裝備的實際控制，保證了裝備工藝反應系統(tǒng)的穩(wěn)定可靠運行。本文所采用的軟件設計思想和方法，對具有類似特征的裝備控制軟件的設計與開發(fā)有著一定的指導