基于自適應(yīng)控制的光柵刻劃機(jī)長效主動與被動復(fù)合隔振方法研究.pdf

1、衍射光柵是光譜儀器中的核心部件，大面積高精度的衍射光柵在許多高精尖技術(shù)領(lǐng)域有著重要的應(yīng)用價值。而用來制作大面積高精度刻劃光柵的刻劃機(jī)本身就是一種具有超高精度的設(shè)備，被為精密機(jī)械之王。光柵刻劃機(jī)不僅自身結(jié)構(gòu)復(fù)雜，其穩(wěn)定運(yùn)行對環(huán)境的要求極為苛刻，對其精度可造成影響的因素非常多，其中環(huán)境振動對光柵刻劃機(jī)的穩(wěn)定運(yùn)行造成了不可忽視的影響，環(huán)境振動哪怕是很細(xì)微的振動都可能造成光柵刻劃機(jī)的刻劃精度，本文將主要從光柵刻劃機(jī)基座隔振方面入手進(jìn)行研究，主要

2、完成的工作內(nèi)容如下:
　　(1)對光柵刻劃機(jī)所處的環(huán)境進(jìn)行調(diào)研，充分調(diào)研光柵刻劃機(jī)實驗室及其周圍可能存在的振動因素。對各種振動的來源、傳播方式、頻率大小進(jìn)行分析，并提出一些相應(yīng)的隔振策略，對光柵刻劃機(jī)實驗室人員走動產(chǎn)生的振動進(jìn)行較詳細(xì)的理論分析。
　　(2)對光柵刻劃機(jī)進(jìn)行隔振設(shè)計時，著重考慮地基傳遞進(jìn)來的振動，由于被動隔振具有諸多優(yōu)點，而且空氣彈簧更是具有良好的隔振性能，本文為光柵刻劃機(jī)的基座嘗試了設(shè)計單層被動隔振系統(tǒng)和雙