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文檔簡介
1、近三十年來，隨著全球能源短缺的趨勢越來越明顯，在重點領(lǐng)域的節(jié)能已經(jīng)成為研究熱點。在建筑窗戶上貼上一層特殊的薄膜，如果它能根據(jù)室內(nèi)溫度對窗外的紅外光進行入反射調(diào)控，以達到控制室內(nèi)溫度的目的，那么此類窗戶稱之為智能窗。在建筑上安裝智能窗可以有效減少建筑耗能。
1.本文對二氧化釩的特性做了的詳細闡述，同時也分析了二氧化釩目前的國內(nèi)外研究現(xiàn)狀，從而敘引出了本文的研究目的和研究方向。除此以外，本文還歸納了幾種常見的制備二氧化釩薄膜的方法
2、，并且調(diào)研了這些制備方法最近的研究成果。
2.對基于直流磁控濺射法的二氧化釩薄膜制備工藝進行了多組實驗。具體研究了濺射直流電源功率、濺射過程中的氧氬比以及濺射氣壓等工藝參數(shù)對薄膜性能的影響。并且總結(jié)出本系列實驗中的最佳工藝參數(shù)：在200W的釩靶直流電源功率下濺射30min，濺射過程中保持氧氬比為0.04，且工作氣壓為2.00Pa。將此時制備出的薄膜在500℃下的N2氣氛中退火2小時，經(jīng)過退火后獲得的薄膜性能最佳。
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