二氧化釩薄膜制備及摻Au對(duì)其相變性能影響的研究.pdf

1、二氧化釩是一種典型的熱致相變化合物。隨著溫度的升高，在68℃時(shí)，二氧化釩會(huì)由低溫半導(dǎo)體態(tài)轉(zhuǎn)變?yōu)楦邷亟饘賾B(tài)（可逆），伴隨著這一相變的發(fā)生，二氧化釩的電學(xué)，光學(xué)性質(zhì)也發(fā)生突變。這一特殊的性質(zhì)使得二氧化釩在很多領(lǐng)域有著重要的應(yīng)用價(jià)值，如熱敏電阻材料，光致開關(guān)材料，智能玻璃窗涂層，太陽(yáng)能溫控裝置等；最重要的是通過摻雜可以改變它的相變溫度。二氧化釩作為一種功能型材料，具有很高的研究?jī)r(jià)值。本文主要探索了用射頻磁控濺射制備二氧化釩薄膜的條件以及摻雜A

2、u陣列后對(duì)二氧化釩薄膜性質(zhì)的影響。
　　 本文用射頻磁控濺射在玻璃和藍(lán)寶石襯底上制備二氧化釩薄膜。用四探針法測(cè)得相變前后電阻變化均達(dá)到兩個(gè)數(shù)量級(jí)以上；用高紫外靈敏度光譜儀進(jìn)行透射率一溫度的研究，在1100nm波長(zhǎng)處，測(cè)得玻璃襯底上的透射率隨著溫度升高由35％減小到15％，降幅到達(dá)了20％，總結(jié)得出紅外波段透射率隨溫度變化遠(yuǎn)遠(yuǎn)大于可見光波段，接近文獻(xiàn)報(bào)道的最好水平。
　　 本文還對(duì)二氧化釩薄膜進(jìn)行Au摻雜：采用直接濺射摻雜