二氧化釩薄膜制備及摻Au對其相變性能影響的研究.pdf

1、二氧化釩是一種典型的熱致相變化合物。隨著溫度的升高，在68℃時，二氧化釩會由低溫半導體態(tài)轉變?yōu)楦邷亟饘賾B(tài)（可逆），伴隨著這一相變的發(fā)生，二氧化釩的電學，光學性質也發(fā)生突變。這一特殊的性質使得二氧化釩在很多領域有著重要的應用價值，如熱敏電阻材料，光致開關材料，智能玻璃窗涂層，太陽能溫控裝置等；最重要的是通過摻雜可以改變它的相變溫度。二氧化釩作為一種功能型材料，具有很高的研究價值。本文主要探索了用射頻磁控濺射制備二氧化釩薄膜的條件以及摻雜A

2、u陣列后對二氧化釩薄膜性質的影響。
　　 本文用射頻磁控濺射在玻璃和藍寶石襯底上制備二氧化釩薄膜。用四探針法測得相變前后電阻變化均達到兩個數(shù)量級以上；用高紫外靈敏度光譜儀進行透射率一溫度的研究，在1100nm波長處，測得玻璃襯底上的透射率隨著溫度升高由35％減小到15％，降幅到達了20％，總結得出紅外波段透射率隨溫度變化遠遠大于可見光波段，接近文獻報道的最好水平。
　　 本文還對二氧化釩薄膜進行Au摻雜：采用直接濺射摻雜