二氧化釩薄膜的相變性能研究.pdf

1、VO2薄膜是一種功能材料，由于其獨特的性質，在很多領域內具有潛在的應用價值。近年來VO2研究有了飛速的發(fā)展，尤其是VO2薄膜制備技術得到了進一步的發(fā)展，一些新的制備技術如有機溶膠—凝膠法、脈沖激光沉淀技術、MOCVD法都制備出了高性能的VO2薄膜。但是這些制備技術都具有一些缺點，例如它們使用市場上不易購買、價格昂貴的金屬釩、純的V2O5和釩的醇鹽作為原料，而后者甚至十分不穩(wěn)定，迄今為止，還不見有研究者使用工業(yè)V2O5作為原料，研究制備性

2、能優(yōu)良的VO2薄膜。在工業(yè)V2O5大量存在，價格便宜的情況下，例如攀鋼年產工業(yè)V2O56000噸，居國內第一位，且其用途局限于鋼鐵工業(yè)(約占85％)和化學工業(yè)(約占15％)，因此探討用攀鋼工業(yè)V2O5產品制備用途廣泛的VO2薄膜材料，并研究其性能，就顯得非常迫切和必要。 本論文采用無機溶膠—凝膠法制備VO2薄膜，并對以下方面進行了研究。 (1)制備較優(yōu)VO2薄膜的工藝參數(shù)范圍。 (2)本論文使用三組正交實驗設計制

3、備了幾組薄膜，并研究了制備VO2薄膜過程中真空熱處理或H2還原過程中，熱處理溫度、熱處理時間、薄膜厚度對薄膜電阻突變數(shù)量級的影響。 (3)用幾種分析手段(掃描電鏡、TG和DSC分析、XRD分析)分別對V2O5薄膜、V2O5凝膠以及VO2薄膜進行了研究。 (4)論文還對無機溶膠—凝膠法和其它幾種較常使用的制備技術進行了較為全面的比較。 通過研究，制備出了相變性能較優(yōu)的VO2薄膜，其相變溫度約為35℃，比純VO2薄膜