電場誘導(dǎo)二氧化釩薄膜相變研究.pdf

1、作為一種3d過渡金屬氧化物，二氧化釩在68℃附近發(fā)生金屬與半導(dǎo)體之間的相變，發(fā)生相變時通常伴隨著光學(xué)和電學(xué)常數(shù)的巨大變化。研究二氧化釩的相變機(jī)理是一件十分有意義的工作。目前對二氧化釩相變的機(jī)理仍然存在爭議，對二氧化釩相變機(jī)理的解釋主要有兩種：一種是熱作用導(dǎo)致的晶體結(jié)構(gòu)相變，另一種是電子相互作用導(dǎo)致的Mott相變。因此可以通過調(diào)節(jié)溫度和電場等參數(shù)來控制的二氧化釩的相變，從而可以利用二氧化釩設(shè)計兩端或多端器件。
　　 本文首先介紹了

2、二氧化釩薄膜的制備和結(jié)構(gòu)表征方法。通過低真空的環(huán)境下采用直流磁控濺射工藝來沉積二氧化釩薄膜。采用X射線衍射儀（XRD）和微區(qū)拉曼散射光譜儀來鑒定薄膜的物相組分。
　　 接著介紹了二氧化釩微區(qū)拉曼測試的兩端器件結(jié)構(gòu)。對測試器件的二氧化釩溝道進(jìn)行了電流-電壓特性分析。觀察溝道在不同電流偏置下溝道的相變現(xiàn)象并用CCD記錄下表面顏色的變化。通過CCD記錄的圖片可以發(fā)現(xiàn)電流超過一定值時測試溝道中有部分區(qū)域顏色變深。通過在顏色變深區(qū)域和沒變