TiAlCN-AgVN自適應涂層制備及摩擦學性能研究.pdf

1、溫度自適應涂層需要涂層材料在各個溫度區(qū)間均保持良好的潤滑性能，本文利用刻蝕填充法制備了全新結構的TiAlCN/AgVN溫度自適應復合涂層，并對其摩擦學性能進行了研究分析。
　　采用射頻磁控濺射法制備了TiAlCN涂層和AgVN涂層，分別研究探討了制備工藝參數(shù)對其組織結構和性能的影響。并在此基礎上制備出了TiAlCN/AgVN復合涂層，探討了復合涂層在高低溫循環(huán)溫度條件下的摩擦磨損行為。論文主要研究結論如下:
　　通過研究氮氣

2、流量和碳含量變化對TiAlCN涂層組織結構和性能的影響，發(fā)現(xiàn)少量N2流量變化會導致TiAlCN涂層的晶體結構發(fā)生顯著變化。隨著N2流量的增加，涂層物相組成由fcc-(TiAl)C相轉(zhuǎn)變?yōu)楦鼮閺碗s的fcc-(TiAl)(CN)相，同時析出hcp-(AlTi)(CN)并最終轉(zhuǎn)變?yōu)橐詇cp-(AlTi)(CN)為主的相結構。此外，N2流量還會促進涂層中非晶碳的析出。C含量改變顯著影響了TiAlCN的摩擦學性能，C含量越高，摩擦系數(shù)越低。通過實

3、驗得到了超硬TiAlCN涂層，納米壓痕硬度約為41GPa。
　　通過改變氮氣流量和偏壓條件對AgVN涂層的組成結構進行了研究。研究發(fā)現(xiàn)射頻磁控濺射法制備出的AgVN涂層呈較為疏松的組織結構，顆粒狀物質(zhì)團聚在一起形成涂層。涂層的物相組成為VN相和Ag相。氮氣流量增加可以增加涂層中Ag含量，而偏壓增加可明顯降低涂層Ag含量。 AgVN涂層在高溫條件(600℃)下的摩擦學性能明顯優(yōu)于室溫條件。
　　通過刻蝕填充法在TiAlCN基體