柔性有機(jī)場效應(yīng)晶體管(OFET)器件性能的研究.pdf

1、場效應(yīng)晶體管（field-effect transistor，F(xiàn)ET）是電子產(chǎn)品中具有較多應(yīng)用的器件，是現(xiàn)代集成電路中最核心、最基礎(chǔ)的元器件，而集成電路在很多領(lǐng)域中的應(yīng)用在快速發(fā)展，例如在消費(fèi)類電子產(chǎn)品、高性能計(jì)算、數(shù)碼通訊等領(lǐng)域，因而，場效應(yīng)晶體管為現(xiàn)代信息技術(shù)的發(fā)展奠定了基礎(chǔ)，同時(shí)，在該領(lǐng)域中也起到了掌控全局的關(guān)鍵作用。
　　 有機(jī)場效應(yīng)晶體管（organic field-effect transistor，OFET）由于具

2、有明顯的優(yōu)勢(shì)，受到了很多研究人員的關(guān)注，并得到廣泛的研究。其成本低、材料來源廣、可低溫加工、可與柔性襯底兼容、適宜大尺寸生產(chǎn)，且成膜工藝簡單，很容易通過旋涂和蘸涂技術(shù)快速獲得大面積低成本薄膜。可用于平板顯示、全有機(jī)主動(dòng)顯示、液晶顯示(LCD)、智能卡、有機(jī)發(fā)光顯示、盤存標(biāo)簽、智能標(biāo)簽、大規(guī)模和超大規(guī)模集成電路、大面積傳感器陣列、記憶組件、有機(jī)激光、互補(bǔ)邏輯電路和超導(dǎo)材料制備等。
　　 基于OFET的諸多優(yōu)勢(shì)和廣泛應(yīng)用，將OFET

3、s與柔性襯底相結(jié)合迫在眉睫。與傳統(tǒng)的剛性場效應(yīng)晶體管相比，柔性有機(jī)場效應(yīng)晶體管具有很多優(yōu)點(diǎn)，例如低成本、質(zhì)量輕、可折疊等，其在柔性傳感器、柔性顯示和柔性集成電路等方面的應(yīng)用前景非常廣闊，受到了工業(yè)界和學(xué)術(shù)界的廣泛關(guān)注，已成為目前最熱門的研究方向。經(jīng)過最近幾年的快速發(fā)展，柔性O(shè)FETs的性能有了顯著的提高，部分器件達(dá)到甚至超過了非晶硅器件的性能。但是很多問題仍然存在，例如柔性聚合物村底容易被彎折，容易損壞器件或者影響器件的性能，并且柔性襯

4、底在長期操作過程中表現(xiàn)不穩(wěn)定，對(duì)操作條件的變化極其敏感，與柔性聚合物襯底相兼容的低溫、低成本的溶液加工技術(shù)急需開發(fā)。
　　 由于柔性O(shè)FETs具有很大的發(fā)展?jié)摿蛷V泛的應(yīng)用，本文針對(duì)其目前的發(fā)展現(xiàn)狀和存在問題，首先對(duì)基于聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)的柔性O(shè)FETs進(jìn)行試制和研究，并測試其電學(xué)性能和機(jī)械彎曲性能;隨后，研究絕緣層方面的因素對(duì)柔性O(shè)FETs器件性能的影響，并探索出一種使器件性能得到提高的混合絕緣材料;最后，利用具有最